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	反饋控制電路
      

      
	
      
    	
      
    	  	
      
              	
      
                	
      反饋控制電路 文章
                  進入反饋控制電路技術社區(qū)  
                  
      
                
      
                                
      
                  

                                
      
                    
      超高精度隧道式硅微加速度計反饋控制電路設計*
      
                                                            
                                        
        
                    	
      • 　　隧道加速度計的制備和檢測原理
　　典型隧道加速度計由隧尖、質量塊、支承梁、驅動電極、隧尖對應電極以及相應的反饋控制電路組成，其基本結構圖和工作原理框圖如圖1所示；圖2顯示的是北京大學微電子研究院微米納米加工國家重點實驗室使用MEMS標準工藝加工出來的基于電子隧道穿通的加速度計以及封裝形式。


　　根據量子力學的隧道原理，當隧道針尖和對電極原子間的間距小到納米量級時，電極和針尖中的電子都有一定的幾率跨越隧道勢壘到達對方的，在電極偏壓的作用下，電子從隧道針尖到對電極的透射幾率加強；同時，抑制了電
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      • 關鍵字：
                        隧道加速度計  反饋控制電路                          
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	共1條
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      反饋控制電路介紹
      
      			
      
		      	
      
		      			      			      	您好，目前還沒有人創(chuàng)建詞條反饋控制電路!
       
		      	歡迎您創(chuàng)建該詞條，闡述對反饋控制電路的理解，并與今后在此搜索反饋控制電路的朋友們分享。    創(chuàng)建詞條
		      			      	
      
    		
      
  		
      
  		  		  		  		  		        		  		
      
    		
      
      			
      
        			
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