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IEDM的初體驗
- 歷史長達53年的IEDM（InternationalElectronDevicesMeeting）是IEEE旗下的王牌會議之一。微系統(tǒng)所的研究人員將STI（淺槽隔離）技術(shù)加以變化后運用到單晶圓MEMS的制作上，發(fā)展出一種溝槽-側(cè)墻（Trench-Sidewall）技術(shù)。
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