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SUSS MicroTec與ITRI研究所合作開發(fā)三維集成技術
- 半導體業(yè)界創(chuàng)新工藝和測試方案提供商SUSS MicroTec，宣布與全球領先的研究機構臺灣ITRI(工業(yè)技術研究院)合作，共同開發(fā)三維集成技術。ITRI引領的Ad-STAC(先進堆棧系統(tǒng)與應用研發(fā)聯盟)將把SUSS MicroTec 的300毫米光刻一體機LithoPack300和300毫米鍵合一體機CBC300用于新竹ITRI 的300毫米演示生產線。SUSS MicroTec加入了此聯盟，并會將其三維集成經驗更積極深入地應用于工藝開發(fā)。 Ad-STAC聯盟致力于推進三維集成領域的工業(yè)開發(fā)。該
- 關鍵字： 300毫米 三維集成 測試
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