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	三氯氫硅
            

            
	
            
    	
            
    	  	
            
              	
                                
            
                  

                                
            
                    
            我國多晶硅生產(chǎn)集成工藝技術又獲新突破
            
                                                            
              
                    	
            • 　　科技部和中國電子材料行業(yè)協(xié)會在洛陽中硅高科組織召開驗收評審會。中硅高科承擔的國家"十一五"科技支撐計劃課題大型三氯氫硅合成、提純工藝技術與關鍵裝置研究、高效加壓還原爐系統(tǒng)研究、大型低溫加壓四氯化硅氫化技術與裝置研究三個課題和參與完成的多晶硅標準、專利體系建設與研究課題順利通過驗收評審。專家認為，這四項科技成果成功解決了規(guī)模化多晶硅生產(chǎn)中的瓶頸問題，填補國內空白，標志著我國多晶硅生產(chǎn)集成工藝技術又獲新突破。
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            • 關鍵字：
                        電子材料  多晶硅  三氯氫硅                          
              • 
                   	
            
                    
            
                
            
                                                

                
            
	                
            
		                	
            
	
            
	共1條
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            三氯氫硅介紹
            
      			
            
		      	
            
		      			      			      	您好，目前還沒有人創(chuàng)建詞條三氯氫硅!
             
		      	歡迎您創(chuàng)建該詞條，闡述對三氯氫硅的理解，并與今后在此搜索三氯氫硅的朋友們分享。    創(chuàng)建詞條
		      			      	
            
    		
            
  		
            
  		  		  		  		  		        		  		
            
    		
            
      			
            
        			
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