近日，應(yīng)用材料公司宣布推出SmartMove系統(tǒng)，這是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)第一個面向非自動化200mm和300mm芯片制造廠的全面硅片管理解決方案。SmartMove系統(tǒng)整合了應(yīng)用材料公司已經(jīng)通過生產(chǎn)驗證的ActivityManager產(chǎn)流程自動化軟件和來自Intellion公司的LotTrack技術(shù)，后者是一個創(chuàng)新的基于無線電和超聲波頻率的硅片盒跟蹤系統(tǒng)。

　　通過SmartMove技術(shù)，客戶的制造執(zhí)行系統(tǒng)會持續(xù)收到硅片盒的確切位置信息，“需要注意”和“下一步去哪里”等信息會被發(fā)送到每一個硅片盒的顯示面板上，這樣操作員就不必手動輸入數(shù)據(jù)，避免了硅片盒的錯誤放置，并降低了周期時間，從而提高了工作效率。