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            提升產(chǎn)業(yè)鏈競爭力 中國掩模版邁向高世代

            作者:深圳清溢光電股份有限公司常務副總經(jīng)理 張沛 時間:2009-07-01 來源:中國電子報 收藏

              從表面上看,第8代和第5代的精度要求相當,但8代尺寸為 1220mm ×1400mm,面積特別大,達到1.7m 2,是第5代面積的4.1倍,因此實現(xiàn)同等的技術指標的難度系數(shù)要大很多,這在CD精度、TP精度、缺陷等三大技術指標上都有所體現(xiàn)。

            本文引用地址:http://www.biyoush.com/article/95820.htm

              從CD精度來看,第8代掩模版面積約為第5代掩模版面積的4倍,但圖形關鍵尺寸的絕對精度誤差指標仍為小于±0.35μm,面積增大之后,CD精度要滿足要求,其工藝難度就隨之增大。

              從TP精度來看,雖然TP絕對精度指標要求都為小于±0.50μm,但根據(jù)其實際長度和面積換算,第5代掩模版等比允許其位置精度累計在90nm/100mm左右的水準,而第8代掩模版等比僅允許位置精度誤差累計在40nm/100mm左右的水準,精度要求提升了一倍。

              從缺陷指標來看,第8代掩模版面積大,因此缺陷概率肯定增大,工藝控制難度增加。

              邁向高世代促進產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展

              目前全球用掩模版供貨廠家主要為日本的HOYA、SKE,韓國的LGMi-cron、PKL,以及我國臺灣地區(qū)的AIPC公司。在中國大陸,清溢光電在成功研制5代用掩模版后,成為全球第6家具備TFT掩模版生產(chǎn)能力的廠家。

              就銷售額來說,HOYA在掩模版市場上處于主導地位,占全球份額的28%。其他如SKE和韓國LGM、PKL由于積極開發(fā)大尺寸掩模版,也占有了相當大的份額。中國大陸的掩模版產(chǎn)業(yè)尚處于起步階段,但由于大陸面板產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展,給清溢光電帶來了前所未有的機遇,清溢光電所擁有的成本和本地化的優(yōu)勢都將使其市場占有率得到很大提升。

              清溢光電作為中國大陸第一家專業(yè)掩模版公司,與國外同行相比,清溢光電用掩模版在國內(nèi)競爭優(yōu)勢明顯。通過發(fā)揮政策優(yōu)勢、價格優(yōu)勢、成本優(yōu)勢、服務優(yōu)勢、區(qū)域優(yōu)勢和品牌優(yōu)勢,構建清溢光電的競爭策略,預計2014年可實現(xiàn)銷售收入5億元。

              在國家對彩電產(chǎn)業(yè)結構進行調(diào)整的背景下,在打造相對完整的平板彩電產(chǎn)業(yè)鏈的目標引導下,清溢光電將在已量產(chǎn)的第 5代TFT-LCD掩模版生產(chǎn)線的基礎上,建設國內(nèi)首條第8代TFT-LCD用掩模版生產(chǎn)線項目,這將避免國內(nèi)第8代TFT-LCD用掩模版依賴進口,對于促進我國TFT-LCD產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展、提升產(chǎn)業(yè)鏈競爭力具有重要的戰(zhàn)略意義。該高世代掩模版項目將帶動石英玻璃基材、保護膜、平板顯示器件生產(chǎn)專用設備等上游產(chǎn)業(yè)發(fā)展,并推動下游彩色濾光片、液晶面板技術的進步。

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            關鍵詞: TFT-LCD MASK 掩模版

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