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      高性能小型化成霍爾傳感器未來發(fā)展方向

      作者:西安電子科技大學(xué)微電子學(xué)院辛維平博士 時間:2009-06-17 來源:中國電子報 收藏

        霍爾器件應(yīng)用十分廣泛,大致可分為以下幾個方向:

      本文引用地址:http://www.biyoush.com/article/95360.htm

        一是測量載流子濃度。

        根據(jù)霍爾電壓產(chǎn)生的公式,以及在外加磁場中測量的霍爾電壓可以判斷傳導(dǎo)載流子的極性與濃度。這種方式被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體中摻雜載體的性質(zhì)與濃度的測量上。

        二是測量磁場強(qiáng)度。

        只要測出霍爾電壓,即可算出磁場的大小;若知載流子類型,則由電壓的正負(fù)可測出磁場方向。反之,若已知磁場方向,則可判斷載流子類型。

        三是測量電流強(qiáng)度。

        將霍爾器件的輸出(必要時可進(jìn)行放大)送到經(jīng)校準(zhǔn)的顯示器上,即可由輸出電壓的數(shù)值直接得出被測電流值。這種方式的優(yōu)點是結(jié)構(gòu)簡單,測量結(jié)果的精度和線性度都較高,可測直流、交流和各種波形的電流。但它的測量范圍、帶寬等受到一定的限制。當(dāng)然,也可采取一些改進(jìn)措施,例如選擇飽和磁感應(yīng)強(qiáng)度高的磁芯材料,制成多層磁芯,采用多個霍爾元件來進(jìn)行檢測等等。這類霍爾電流傳感器的價格相對較低,使用非常方便,已得到廣泛的應(yīng)用,國內(nèi)外已有許多廠家在生產(chǎn)。

        四是測量微小位移。

        如果霍爾元件的工作電流保持不變,而使其在一個均勻梯度磁場中移動,它輸出的霍爾電壓值只由它在該磁場中的位移量來決定。用霍爾元件測量位移的優(yōu)點很多,如慣性小、頻響快、質(zhì)量可靠、壽命長。以微位移檢測為基礎(chǔ),可以構(gòu)成壓力、應(yīng)力、應(yīng)變、機(jī)械振動、加速度、重量等。

        可靠性和成本是瓶頸

        隨著電子技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展,業(yè)界對霍爾器件提出了一些新的要求:

        新的器件結(jié)構(gòu)

        常規(guī)霍爾元件要求磁場垂直于霍爾元件,且在整個霍爾元件上是均勻磁場。而在其他情況下,需要根據(jù)磁場分布情況,設(shè)計各種各樣相應(yīng)的非平面霍爾結(jié)構(gòu)。其中,垂直式霍爾器件是新開發(fā)出來的,具有低噪聲、低失調(diào)和高穩(wěn)定性的特點。

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