全球真空和尾氣處理設(shè)備和服務(wù)的主要供應(yīng)商Edwards近日宣布，自2008年2月推出以來短短一年時間已經(jīng)向半導(dǎo)體和太陽能制造商售出1000套應(yīng)用于苛刻工藝的iXH新一代干式真空泵。

　　“太陽能和新半導(dǎo)體制造工藝(如砷化鎵化合物半導(dǎo)體)要求能夠處理大流量氫氣的真空技術(shù)，”Edwards公司的CEO尼格爾-漢頓(Nigel Hunton)說，“iXH系列干泵是為解決這些難題而特別設(shè)計的，它擁有更長的使用壽命和更低的動力消耗從而減少了運行成本。iXH真空泵在業(yè)界的迅速推廣證明了它能成功應(yīng)對這些挑戰(zhàn)。”

　　氫氣是一種難以抽取的氣體，因為它分子量小，粘度低。iXH真空泵系統(tǒng)采用一系列具有高抽氣速率的干式泵和增壓泵以達(dá)到最佳的壓縮比，從而實現(xiàn)高效率地抽取氫氣。該系統(tǒng)為模塊化設(shè)計，可靈活配置，因此易于滿足各種太陽能和半導(dǎo)體制造工藝中的現(xiàn)場安裝和性能要求。部件可以上下堆疊，從而達(dá)到業(yè)內(nèi)最小的占地面積。各種型號的 iXH真空泵可針對具體應(yīng)用要求靈活配置，并且由單個控制器進(jìn)行管理，對操作人員而言這是一種簡單易用、可無縫集成的真空系統(tǒng)。

　　與Edwards上一代真空泵相比，用于苛刻工藝的iXH干式真空泵系列具有更大的處理能力和較低的運行成本(CoO)。運行成本的下降是通過能耗下降10%、維修間隔延長以及意外停機(jī)時間減少而實現(xiàn)的。產(chǎn)品操作溫度范圍廣(有助于降低副產(chǎn)物的沉積)，粉末處理能力顯著增強(qiáng)，并采用獨特的氣體分配技術(shù)以及一種延長工藝壽命并減少泄漏危險的創(chuàng)新的真空泵密封技術(shù)。