賽斯純氣體有限公司作為一家氣體凈化技術設備的世界領導者和供應商日前在2009年國際半導體設備與材料展覽會上, 正式宣布引入微污染物檢驗服務和CollectTorr取樣系統(tǒng), 用于對在中國的光刻和測量設備提供檢驗。

　　賽斯公司開發(fā)的CollectTorr取樣系統(tǒng)和離線分析服務能夠向尖端光刻和檢驗/測量設備的最終客戶提供一種簡單、專用和可靠的分析工具, 對光學系統(tǒng)的分子污染物的吹掃氣體進行驗證。基于固態(tài)捕獲器的CollectTorr取樣系統(tǒng)與賽斯純氣體公司的尖端分析設備相結合，能夠評估pptV水平的分子酸、堿、難熔和有機污染物的含量。

　　這項服務已經(jīng)通過一家國際著名的光刻設備制造商的正式認證。

　　克里斯蒂安?蘭東尼先生，賽斯純氣體公司的使用點產(chǎn)品經(jīng)理說:”我們很自豪地把這項成功開發(fā)的固態(tài)取樣技術和分析技術引入中國, 用于對光刻設備的檢驗。自從1995年起，賽斯純氣體公司就已經(jīng)通過在上海設立的銷售和客戶服務辦事處服務中國市場“。蘭東尼先生總結道: “為了保持光刻和測量設備的光學系統(tǒng)的擔保, 必須采用一種可靠的分子污染物檢驗。賽斯純氣體公司的壓縮氣體和環(huán)境空氣CollectTorr系統(tǒng)提供比通常的液態(tài)濾塵器具有巨大的優(yōu)勢, 后者用于分子酸和堿的取樣。

　　微污染物檢驗分析服務的應用如下:

　　光刻和檢驗/測量設備制造商的光學系統(tǒng)和鏡頭擔保的吹掃氣體驗證

　　氣體凈化前后的分子污染物評估，

　　潔凈室空氣和化學過濾器的驗證

　　氣體管道和部件放氣的檢測

　　對于中國客戶，微污染物檢驗分析服務將由賽斯純氣體公司在上海的辦事處提供。

　　賽斯純氣體公司坐落在美國加州圣路易斯奧比斯波, 是氣體中的雜質含量必須達到非常低的極限值的科技應用領域內的全球領導者。通過利用公司的核心能力，賽斯公司開發(fā)了應用于半導體和其它高科技市場的超高純氣體處理設備, 事實上對于全部的大宗氣體和特氣應用領域提供氣體凈化設備。憑借在氣體凈化領域20年的豐富經(jīng)驗，賽斯純氣體公司也在最新的半導體工業(yè)尖端應用領域，比如, 光刻、測量和檢驗設備光學系統(tǒng)的吹掃氣體凈化，成為一家關鍵的供應商。