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ECI Technology的化學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)成功在歐洲知名半導(dǎo)體研究中心裝載

作者：時(shí)間：2009-03-09 來(lái)源：電子產(chǎn)品世界

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全球領(lǐng)先的濕法化學(xué)度量技術(shù)供應(yīng)商ECI Technology近日宣布一家歐洲知名的半導(dǎo)體研究中心成功裝載了On-Line Quali-Line QLC-7500 Chemical Monitoring System（CMS）。ECI Technology將在近期舉行的SEMICON China中參展，展位號(hào)是4722。

QLC-7500是一臺(tái)在線分析設(shè)備，可用來(lái)監(jiān)測(cè)和控制硅通孔（TSV）銅淀積工藝。它能精確測(cè)量電鍍和填充工藝中無(wú)機(jī)成分和所有有機(jī)添加物的濃度。QLC-7XXX化學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)是銅電鍍（大馬士革）工藝最常用的分析設(shè)備，全球主要的半導(dǎo)體制造商均選擇該系列設(shè)備。

本文引用地址：http://www.biyoush.com/article/92191.htm

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