Epson Toyocom公司最新開發(fā)出具有±10帕（約一萬分之一氣壓）的高精度與0.1帕的高分辨能力的高性能，且體積為12.5ml、重量為15g的小型水晶絕對(duì)壓力傳感器。 預(yù)計(jì)2009年度商品化。

　　壓力傳感器在通常情況下存在下述技術(shù)難題：小型化時(shí)會(huì)造成性能下降；追求高性能時(shí)又不得不增大構(gòu)造。

　　Epson Toyocom在壓力檢測(cè)單元中采用音叉型晶體單元，由此可以得到安定度高的振蕩頻率，從而實(shí)現(xiàn)了具有高精度及高分辨能力的水晶壓力傳感器。在此之上又使用QMEMS技術(shù)新開發(fā)出獨(dú)創(chuàng)的壓力傳感構(gòu)造，使同時(shí)具有小型及高性能——這兩種相對(duì)性能的產(chǎn)品的實(shí)現(xiàn)變?yōu)榭赡堋樵跉庀蠡虬踩? 氣象觀測(cè)中大氣壓的高精度測(cè)試; 大氣壓變化的高低差(以約1cm為單位的高度)的測(cè)試;測(cè)試室內(nèi)門窗等開關(guān)而造成的微小的內(nèi)部壓力變化)等使用壓力傳感器領(lǐng)域各種儀器的小型化及性能提高上做出貢獻(xiàn)。而且是通過搭載于周圍機(jī)器，還可應(yīng)用于高精度氣壓測(cè)試等新領(lǐng)域的可行性的產(chǎn)品。

　　現(xiàn)在，Epson Toyocom正將本產(chǎn)品所采用的獨(dú)創(chuàng)的壓力傳感構(gòu)造不斷推廣到其它能夠適用于各種用途的水晶壓力傳感器的開發(fā)上，今后亦將不斷推進(jìn)使用基于QMEMS技術(shù)的超精微加工技術(shù)、晶體振蕩器中醞釀出的高安定振蕩電路技術(shù)以及高精度檢測(cè)技術(shù)的進(jìn)化，創(chuàng)造出更高程度的高性能化和小型化。

【主要規(guī)格】