市場(chǎng)調(diào)研機(jī)構(gòu)VLSIResearch近日公布了2008十佳半導(dǎo)體設(shè)備廠商。今年獲得工藝診斷設(shè)備廠商、小型晶圓處理設(shè)備廠商和大型晶圓處理設(shè)備廠商各個(gè)類別桂冠的分別是KeithleyInstruments、SENCorporation和VarianSemiconductor。

　　本次調(diào)查結(jié)果是來(lái)自對(duì)芯片制造商4565次調(diào)查，受訪制造商的產(chǎn)量總和約占全球產(chǎn)量的95％。每家設(shè)備供應(yīng)商在13項(xiàng)指標(biāo)中進(jìn)行排名，包括設(shè)備性能和客服等。以下是十佳供應(yīng)商排名：

　　工藝診斷設(shè)備供應(yīng)商

　　在工藝診斷設(shè)備供應(yīng)商中，長(zhǎng)期入圍前十的KeithleyInstruments和AgilentTechnologies分列第一第二。排在首位的Keithley幾乎獲得了滿分，13項(xiàng)指標(biāo)中有11項(xiàng)排在首位，表現(xiàn)最出色的是設(shè)備運(yùn)行時(shí)間這項(xiàng)。

　　工藝診斷設(shè)備供應(yīng)商的優(yōu)勢(shì)在于設(shè)備性能，十佳廠商在設(shè)備運(yùn)行時(shí)間、有效吞吐量和結(jié)果質(zhì)量等指標(biāo)都獲得了最高得分。

　　小型晶圓處理設(shè)備廠商

　　SENCorporation在客戶滿意度上獲得了第一，該公司在5個(gè)指標(biāo)上獲得了最高排名，零部件支持和技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)力得分最高。

　　大型晶圓處理設(shè)備供應(yīng)商

　　VarianSemiconductor在大型晶圓處理設(shè)備供應(yīng)商中拔得頭籌。在13項(xiàng)指標(biāo)中，11項(xiàng)獲得了最高排名，其中結(jié)果質(zhì)量得分最高。Novellus排在第二，在擁有者成本方面獲得最高分。技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)力排名第一的是ASML，總排名排在第三。TokyoElectron和Ulvac分列第四第五。

　　以下是2007年這三份榜單的排名：

　　此次受訪的芯片制造廠商分布在北美、歐洲、中國(guó)大陸、韓國(guó)、中國(guó)臺(tái)灣、日本等地，所占比例如下圖所示：