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            半導(dǎo)體硅重構(gòu)表面相研究新進(jìn)展

            作者: 時(shí)間:2008-02-28 來(lái)源:中科院物理研究所 收藏
             是推動(dòng)人類(lèi)文明大步前進(jìn)的現(xiàn)代計(jì)算機(jī)技術(shù)的核心,也可能在未來(lái)的計(jì)算機(jī)技術(shù)等方面起到關(guān)鍵作用,所以的研究歷來(lái)就是國(guó)際重大研究領(lǐng)域。表/界面是未來(lái)關(guān)鍵器件中復(fù)合結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ),Si(111)-7x7重構(gòu)表面相又是重構(gòu)表面的代表,因此Si(111)-7x7重構(gòu)表面相及其相變動(dòng)力學(xué)現(xiàn)象的研究,一直是一個(gè)國(guó)際重大課題。

                Si(111)-7x7重構(gòu)表面發(fā)現(xiàn)于1959年,其原子結(jié)構(gòu)模型完成于1985年,這個(gè)7x7重構(gòu)表面相在1125K通過(guò)表面相變回歸為1x1相?,F(xiàn)代低能電子顯微鏡(LEEM)的成熟使得實(shí)時(shí)觀(guān)測(cè)依賴(lài)于時(shí)間的表面相變過(guò)程成為可能,最典型的應(yīng)用就是針對(duì)Si(111)-7x7重構(gòu)表面相到高溫1x1相的相變。按通常想象,在相變過(guò)程中7x7島衰變率應(yīng)該只與島當(dāng)前的面積有關(guān),但是,實(shí)驗(yàn)結(jié)果卻不是這樣。自2000年以來(lái)的LEEM實(shí)驗(yàn)顯示,7x7納米島的面積衰減呈線(xiàn)性行為,衰減率基本上是由其初始島面積決定的常數(shù)。這個(gè)問(wèn)題的解決對(duì)于理解這個(gè)相變及其動(dòng)力學(xué)現(xiàn)象至關(guān)重要。

            本文引用地址:http://www.biyoush.com/article/79340.htm

                中科院物理研究所劉邦貴研究員及其博士生徐野川在系統(tǒng)地分析了大量實(shí)驗(yàn)事實(shí)的基礎(chǔ)上,提出用一個(gè)相場(chǎng)模型來(lái)描述這個(gè)重構(gòu)表面及其相變動(dòng)力學(xué)現(xiàn)象,其模型要點(diǎn)是,相變過(guò)程中7x7島衰變時(shí)有兩個(gè)速度不同的過(guò)程,快過(guò)程反應(yīng)7x7重構(gòu)表面相的基本特征的變化,慢過(guò)程描述隨后的大范圍原子馳豫。他們的相場(chǎng)模擬結(jié)果與LEEM實(shí)驗(yàn)完全一致,說(shuō)明該模型抓住了這個(gè)相變過(guò)程的要點(diǎn)。

                這項(xiàng)研究對(duì)Si(111)-7x7重構(gòu)表面相及其相變動(dòng)力學(xué)現(xiàn)象的研究取得了滿(mǎn)意的結(jié)果,這個(gè)方法應(yīng)該可以用于其它半導(dǎo)體重構(gòu)表面相及其相變研究,主要結(jié)果發(fā)表在2月8日出版的《物理評(píng)論快報(bào)》(PhysicalReviewLetters)上。

                這項(xiàng)研究得到了國(guó)家自然科學(xué)基金委、國(guó)家科技部和中國(guó)科學(xué)院相關(guān)項(xiàng)目的支持。



            關(guān)鍵詞: 半導(dǎo)體

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