作者：江刺正喜

　　在電源方面，目前日產(chǎn)汽車正在開發(fā)一種借用汽車渦輪增壓機(jī)技術(shù)（非MEMS技術(shù)）的便攜型燃?xì)廨啺l(fā)電機(jī)。美國(guó)DARPA（Defense Advanced Research Project Agency，國(guó)防尖端研究項(xiàng)目機(jī)構(gòu)）正在實(shí)施一種旨在運(yùn)用MEMS技術(shù)將這種小型發(fā)電機(jī)設(shè)計(jì)成手掌大小、名為“Palm Power（掌上電源）”的研究項(xiàng)目。有可能用于士兵配備的信息終端電源。在微型燃?xì)廨啺l(fā)電機(jī)方面，運(yùn)用硅材料的研究正由美國(guó)麻省理工學(xué)院（MIT）加緊實(shí)施?，F(xiàn)已證實(shí)，利用硅的深度RIE加工技術(shù)生產(chǎn)，通過對(duì)氣壓驅(qū)動(dòng)的渦輪進(jìn)行小型化設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)130萬轉(zhuǎn)/分鐘的高速轉(zhuǎn)動(dòng)（圖12）。

　　除此之外，日本東北大學(xué)正在開發(fā)一種使用SiC的微型燃?xì)廨啺l(fā)電機(jī)轉(zhuǎn)子葉片（圖13）。要想使之達(dá)到實(shí)用化，必須使用高耐熱性材料，因此就使用可將由RIE方法加工的硅制成模具的反應(yīng)燒結(jié)工藝，制作出了高耐熱性SiC的微結(jié)構(gòu)物體。

燃料電池必不可少的技術(shù)

　　和發(fā)電機(jī)同樣重要的是電池。目前業(yè)界正在加緊研制燃料盒式小型燃料電池。它是固體高分子型燃料電池的小型化，很多產(chǎn)品直接使用甲醇。

　　但從效率上來講，氫氣更適合于固體高分子燃料電池，因此在利用微加工技術(shù)生產(chǎn)的微型反應(yīng)器（小型燃料改質(zhì)器）中邊生成邊使用的氫氣生成技術(shù)，以及貯氫技術(shù)的開發(fā)正在進(jìn)行之中。為了對(duì)被業(yè)界寄予厚望的貯氫技術(shù)——碳納米管的貯氫性能進(jìn)行優(yōu)化，日本東北大學(xué)使用裝在硅的振動(dòng)子上的碳納米管，對(duì)其貯氫量進(jìn)行了測(cè)定（圖14）?，F(xiàn)已確認(rèn)能夠貯藏其本身重量6％的氫氣。在該研究事例中，硅懸壁的厚度僅170nm，Q系數(shù)則高達(dá)25萬，因此能夠非常靈敏地將吸附氫氣的微小重量變化作為共振頻率的變化檢測(cè)出來。

         圖12                           圖13                          圖14
   

    ■日文原文

      特別連載「MEMSの本質(zhì)を理解する」（6），「マイクロ発電機(jī)，電池への応用」