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            MEMS麥克風(fēng)的聲學(xué)設(shè)計(jì)

            作者: 時(shí)間:2015-05-27 來源:電子產(chǎn)品世界 收藏

              密封圈厚度對頻響的影響

            本文引用地址:http://www.biyoush.com/article/274816.htm

              密封圈是在聲孔與產(chǎn)品外殼聲孔之間起到氣密作用。在安裝一個(gè)密封圈后,聲孔至麥克風(fēng)前室長度被延長,導(dǎo)致頻響發(fā)生變化。下面的仿真實(shí)驗(yàn)是將長度不同但直徑固定(400μm)的圓管置于麥克風(fēng)聲孔上,評(píng)估密封圈厚度對頻響的影響程度。

              

             

              圖5– MP34DT01頻響與密封圈厚度關(guān)系

              從仿真實(shí)驗(yàn)中不難看出,增加一個(gè)密封圈會(huì)破壞頻響性能。在增加密封圈(如果是下聲孔麥克風(fēng),還要增加一個(gè)印刷電路板)后,實(shí)際聲孔長度被延長,導(dǎo)致諧振頻率降低,高頻部分的靈敏度提高。更厚的密封圈將會(huì)提高諧振器瓶頸長度,導(dǎo)致諧振頻率降低,高頻響應(yīng)性能變差。

              密封圈內(nèi)徑對頻響的影響

              下一個(gè)仿真實(shí)驗(yàn)是評(píng)估內(nèi)徑不同但厚度固定(2mm)的密封圈對頻響的影響。圖6所示是使用不同內(nèi)徑密封圈的仿真實(shí)驗(yàn)結(jié)果。

              

             

              圖6– MP34DT01頻響與密封圈內(nèi)徑關(guān)系

              這些仿真數(shù)據(jù)表明,增加麥克風(fēng)密封圈內(nèi)徑可提高諧振頻率,提升總體頻響性能。

              聲音路徑形狀對頻響的影響

              到此,仿真結(jié)果符合求解Helmholtz諧振方程式獲得的預(yù)測結(jié)果。下面的仿真實(shí)驗(yàn)討論聲音路徑形狀變化對頻響的影響,這項(xiàng)預(yù)測難度很大。圖7(a)所示結(jié)構(gòu)是一個(gè)長4mm、直徑600μm的簡易聲音路徑,其它仿真實(shí)驗(yàn)都以這個(gè)簡單結(jié)構(gòu)為基準(zhǔn)。為了模擬密封圈、產(chǎn)品外殼聲孔和印刷電路板聲孔的寬度和形狀的變化,仿真實(shí)驗(yàn)增加了長度、半徑和形狀不同的腔體,聲音路徑變得非常復(fù)雜。

              

             

              圖7–聲音路徑形狀變化

              

             

              圖8– MP34DB01在不同聲音路徑形狀時(shí)的頻響

              



            關(guān)鍵詞: MEMS 麥克風(fēng)

            評(píng)論


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