4 EL6249C在MEMS測(cè)試中的應(yīng)用

　　根據(jù)頻閃成像原理，為了采集到MEMS器件高速運(yùn)動(dòng)時(shí)的清晰圖像，本文選用EL6249C作為驅(qū)動(dòng)芯片來驅(qū)動(dòng)高亮度激光二極管發(fā)光，并利用函數(shù)發(fā)生器產(chǎn)生頻率與MEMS運(yùn)動(dòng)頻率相同的窄脈沖信號(hào)，同時(shí)用其作為EL6249C的控制信號(hào)，然后設(shè)置合適的外接電阻以使EL6249C輸出適當(dāng)?shù)碾娏鱽眚?qū)動(dòng)LED發(fā)出所需的頻閃光。圖5為筆者設(shè)計(jì)的頻閃照明電路原理圖。在本電路中，為了保證供電電壓穩(wěn)定在所需的5V上，筆者選用了MAX8869，這樣可以更好地提高整個(gè)電路的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。

　　圖5 MEMS頻閃驅(qū)動(dòng)電路原理圖

　　5結(jié)論

　　本文從MEMS動(dòng)態(tài)測(cè)試的需求出發(fā)，根據(jù)頻閃成像原理，利用EL6249C作為驅(qū)動(dòng)芯片來驅(qū)動(dòng)高亮度激光二極管發(fā)出頻閃光，以便采集高速運(yùn)動(dòng)的MEMS器件在不同相位不同頻率下的清晰圖像，從而為后續(xù)MEMS器件運(yùn)動(dòng)特性的提取與分析做充分地準(zhǔn)備。實(shí)驗(yàn)證明，此設(shè)計(jì)是行之有效的。

　　設(shè)置振蕩器的振蕩幅度10 OSCEN振蕩器控制端OSCEN Low=Oscillator Off當(dāng)EL6249C工作時(shí)，它可以提供受控的電流給激光二極管。四個(gè)通道之和作為IOUT的輸出，從而允許用戶創(chuàng)建多級(jí)波形以優(yōu)化激光二極管的性能。輸出電流的級(jí)數(shù)由模擬電壓施加一個(gè)外部電阻來設(shè)置。通常該電阻可以將電壓轉(zhuǎn)換成電流輸入到IIN管腳，然后這個(gè)管腳上的電流再經(jīng)內(nèi)部電路放大后由IOUT輸出，以驅(qū)動(dòng)激光二極管發(fā)光。EL6249C片內(nèi)還有一個(gè)500MHz的振蕩器。當(dāng)輸出電流為讀模式時(shí)，可以對(duì)其進(jìn)行調(diào)制。當(dāng)引腳OSCEN為高時(shí)，振蕩器被使能。如果通道2、3、4都未激活，則振蕩器關(guān)閉。振蕩器幅度和頻率的控制可由兩個(gè)外部電阻與管腳RFREQ和RAMP相連來設(shè)置。EL6249C的內(nèi)部結(jié)構(gòu)如圖3所示。電路中輸出電流的級(jí)數(shù)由管腳OUTEN2、OUTEN3和OUTEN4的高低電平共同決定;片內(nèi)振蕩器的使能則由管腳OSCEN、OUTEN2、OUTEN3和OUTEN4的高電平來使能;管腳ENABLE則用于控制整個(gè)電路的使能。EN-ABLE為高電平時(shí)，整個(gè)電路才能正常工作，但應(yīng)注意，該腳不能懸空。圖4給出了EL6249C的一種典型應(yīng)用電路。在該電路的運(yùn)行過程中，由于高電流值需要快速地on/off切換，所以保證電源供應(yīng)的有效去耦非常重要。在切換過程中，VCC承受著極大的瞬態(tài)電流，因此應(yīng)該給VCC去耦。