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            半導體商Entegris 推出下一代450mm晶圓承載盒

            作者: 時間:2014-12-12 來源:鉅亨網 收藏

              高度先進制造環(huán)境提升產量材料與解決方案的領導廠商,Inc.,推出了下一代450mm承載盒解決方案(P2),這個解決方案能夠安全可靠地運輸制程所需的450mm,供應至世界各地。450mmP2承載盒精確符合450mm設備標準、微粒產生量,且可減少清潔循環(huán)時間,可有效運送及處理SEMI?M1標準晶圓。

            本文引用地址:http://www.biyoush.com/article/266702.htm

              資深執(zhí)行副總兼營運長ToddEdlund表示,當產業(yè)改用450mm晶圓,制造商也須面對處理晶圓的新挑戰(zhàn),以保持制造SEMI標準M1品質晶圓所需的潔凈度。與主要的矽材供應商和OEM保持緊密的合作,藉此擴展450mm晶圓的運輸和制程。合作內容包括,由我方將本公司的450mm晶圓處理解決方案運送給50家以上的重要產業(yè)業(yè)者。

              450mmP2多用途承載盒(MAC)和450mm前開式晶圓傳送盒(FOUP)已通過紐約州立大學理工學院(SUNYPolytechnicInstitute)在Albany的全球450mm聯(lián)盟(G450C)的大量測試。Entegris藉由這樣的合作,改善了MAC和FOUP承載盒的架構,確保晶圓廠中具有連貫的設備互通性。

              G450C的計畫溝通/管理經理DaveSkilbred表示:,450mmP2MAC和FOUP的問世,讓Entegris在支援業(yè)界轉移至為M1450mm晶圓品質,以及繼續(xù)推動全圖樣化450mm晶圓進展這些方面,充分展現(xiàn)出其領導能力和所投入的決心。

              P2MAC透過堅固耐用的密封,以及在晶圓進入承載盒時加以“擷取”的優(yōu)化機制,提供了更為潔凈的晶圓環(huán)境,并針對處理和環(huán)境所引發(fā)的微粒產生量,加強其抵擋能力。450mm晶圓承載盒的設計還能將清潔循環(huán)時間降低25-50%,以提升晶圓廠的效率。此外,450mmP2MAC運輸系統(tǒng)已通過測試,證實符合MAC和FOSBSEMI效能標準。



            關鍵詞: 半導體 Entegris 晶圓

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