圖 7?30 測(cè)試多個(gè)VCSEL

測(cè)試系統(tǒng)中的儀器是通過(guò)Trigger Link電纜（較新的Keithley儀器中采用的一種硬件握手總線(xiàn)）進(jìn)行連接的。當(dāng)源表和開(kāi)關(guān)主機(jī)通過(guò)Trigger Link連接時(shí)，它們能夠彼此觸發(fā)，可更快地進(jìn)行測(cè)試。利用這種內(nèi)置的總線(xiàn)，大多數(shù)系統(tǒng)功能就無(wú)需PC的直接控制。Trigger Link有6根觸發(fā)線(xiàn)，利用該觸發(fā)總線(xiàn)可最多控制6臺(tái)儀器。

Trigger Link有兩種工作模式：同步和半同步。在同步模式下，輸入和輸出觸發(fā)使用獨(dú)立的觸發(fā)線(xiàn)；而在半同步模式下，輸入和輸出觸發(fā)采用相同的觸發(fā)線(xiàn)。7001/7002型開(kāi)關(guān)主機(jī)上有兩個(gè)Trigger Link連接器。在2400型源表上有一個(gè)Trigger Link連接器，#1觸發(fā)線(xiàn)出廠(chǎng)默認(rèn)為輸入觸發(fā)，#2觸發(fā)線(xiàn)為默認(rèn)的輸出觸發(fā)。

如圖 7?31所示，源表可在“源－延遲－測(cè)量”（SDM）周期的每一階段的開(kāi)始或末尾接收和發(fā)送觸發(fā)。SDM周期表示打開(kāi)源信號(hào)，執(zhí)行一個(gè)可編程的延遲，然后進(jìn)行測(cè)量。

圖 7?31 源表輸入/輸出觸發(fā)

對(duì)于這種應(yīng)用，采用同步觸發(fā)來(lái)控制以下的時(shí)間順序：

通過(guò)前面板的按鈕或發(fā)送到7001/7002的總線(xiàn)命令驅(qū)動(dòng)一次掃描。

閉合7011開(kāi)關(guān)卡上VCSEL #1和PD #1對(duì)應(yīng)的通道。在經(jīng)過(guò)延遲穩(wěn)定時(shí)間后，輸出觸發(fā)通過(guò)#1線(xiàn)發(fā)送到兩臺(tái)2400型源表（SDM周期中的“源前”觸發(fā)）。

源表開(kāi)始其“源－延遲－測(cè)量”周期。第一臺(tái)2400型源表向VSCEL #1輸出一個(gè)正偏電流；第二臺(tái)2400型源表向PD #1輸出一個(gè)負(fù)偏電壓。

經(jīng)過(guò)可編程的延遲時(shí)間后，第二臺(tái)2400型源表測(cè)量PD #1產(chǎn)生的漏流。在其測(cè)量階段結(jié)束時(shí)，該源表通過(guò) # 2線(xiàn)向開(kāi)關(guān)主機(jī)發(fā)送一個(gè)輸出觸發(fā)（SDM周期的“測(cè)量后”觸發(fā)）。

7001/7002開(kāi)路所有通道，然后閉合VCSEL #2和PD #2相對(duì)應(yīng)的通道，并觸發(fā)源表儀器。

對(duì)所有的DUT執(zhí)行以上步驟。當(dāng)然，在每次測(cè)量后，探針必須連接到晶圓上的另一個(gè)器件，并且探測(cè)器定位于器件的上方。