齒輪測量技術(shù)新進展
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圖11 激光全息齒面測量的結(jié)構(gòu)圖
圖12 齒面測量實例
圖13為在該儀器上測量大阪精機公司制造的齒輪漸開線樣板的結(jié)果。所用測針的頂端曲率半徑為2μm，因而可以測量齒面的粗糙度。圖14為松下電器產(chǎn)業(yè)開發(fā)的采用原子力測頭的超精密三維測量儀。由于測頭按直線方向配置，故齒輪測量受到一定限制，但在測量限定齒數(shù)的齒輪樣板時，其測量精度可達到納米級。
圖13 漸開線樣板的測量
圖14 超精密三維測量機
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