1. 環(huán)境溫度，20℃±2℃，相對濕度55%-65%。

　　2. 操作員每天開機前應(yīng)該用干凈的綢布蘸適量的高純度酒精擦拭氣浮導(dǎo)軌的工作區(qū)。注意：擦拭時由機內(nèi)向機外方向擦拭。

　　3. 檢查X、Y、Z軸運動是否正常，全行程運行，檢查數(shù)顯是否工作正常。

　　4. 每日開機前檢查機器后面的氣體安裝板是否有氣，每日對氣體安裝板的三聯(lián)體放水，以免水分進入空氣軸承，影響精度。

　　5. 檢查以上項目無問題后，開計算機使機器回零。如沒有問題，則開始校驗標準球，校驗標準球是重點。

　　6. 工作完畢后，記住關(guān)閉測量機氣體安裝板上的氣源。

　　7. 每月用吸塵器清理外表及環(huán)境；檢查壓縮空氣壓力表示值是否正常。（應(yīng)指示在0.55-0.65Mpa之間）；檢查平衡裝置有無故障，若損壞應(yīng)立即修理更換。

　　8. 同步帶每季度檢查同步帶，如同步帶有磨損、斷裂現(xiàn)象，則需 予以更換。

　　9. 氣動調(diào)壓閥：每季度檢查調(diào)壓閥，調(diào)壓閥壓力指示應(yīng)在0.2~0.3Mpa之間，手拉Z軸上下移動，拉力和阻力應(yīng)相等。若調(diào)壓閥壓力指示不在該范圍內(nèi)，則需更換氣動調(diào)壓閥。

　　10. 氣路系統(tǒng)：每周一次檢查安裝在底座后部氣電安裝板上的三聯(lián)體。應(yīng)逆時針旋轉(zhuǎn)粗、細過濾器下端葉柄，打開放水閥放水。待將要放完水時應(yīng)立即順時針旋葉柄，關(guān)閉放水閥。粗、細過濾器中的濾芯和存水杯應(yīng)定期清洗。濾芯須放入汽油中清洗，用壓縮空氣吹凈。拆卸時卸下存水杯，然后擰開濾芯固定螺母，取出濾芯。存水杯放入石油醚溶液中漂洗。（切忌用丙酮，乙醚，甲苯等溶液清洗）

　　11. 放水閥打開后而不放水，系污物堵塞放水通道所至。應(yīng)清洗排放旋塞，除去雜物。

12. 放水閥中漏氣維修措施；可能是放水閥沒有擰緊，應(yīng)緊固放水閥；雜物卡住放水閥，使其關(guān)閉后不密封，應(yīng)清洗放水閥，去除雜物；放水閥閥座損壞，請更換閥座。

　　13. 三聯(lián)體在平衡狀態(tài)下溢流口漏氣，此時應(yīng)當檢查進氣閥和溢流口是否有污物，有污物應(yīng)取下清洗；檢查膜片是否破損，如膜片破損則應(yīng)立即更換。

　　14. 三聯(lián)體輸出壓力發(fā)生激烈波動或不均勻變化時，應(yīng)檢查“O”形圈是否損壞，如損壞需取下更換。

　　15. 若外供氣壓合適，而三聯(lián)體調(diào)壓時壓力升不上去，應(yīng)檢查彈簧是否斷裂，如斷裂應(yīng)及時更換。

　　16. 三聯(lián)體定期檢查。