SM5420壓力傳感器在進氣歧管中的應用
結(jié)構(gòu)原理
半導體壓敏電阻式進氣歧管絕對壓力傳感器,其壓力轉(zhuǎn)換元件是利用半導體的壓阻效應制成的硅膜片。硅膜片的一面是真空室,另一面導入進氣歧管壓力。硅膜片約為3mm的正方形,其中部經(jīng)光刻腐蝕形成直徑約2mm、厚約50mm的薄膜,薄膜周圍有4個應變電阻,以單臂電橋方式連接。由于薄膜一側(cè)是真空室,因此薄膜的另一側(cè)即進氣歧管內(nèi)絕對壓力越高,硅膜片的變形越大,其應變與壓力成正比,附著在薄膜上的應變電阻的阻值隨應變成正比地變化,這樣就可以利用單臂電橋?qū)⒐枘て淖冃巫兂呻娦盘?。因為輸出的電信號很微弱,所以需用混合集成電路進行放大后輸出。這種壓阻式進氣壓力傳感器輸出的信號電壓,具有隨進氣歧管絕對壓力的增大呈線性增大的特性。
壓敏電阻式進氣壓力傳感器的工作原理
由應變電阻R1、R2、R3、R4,它們構(gòu)成惠斯頓電橋并與硅膜片粘接在一起。硅膜片在歧管內(nèi)的絕對壓力作用下可以變形,從而引起應變電阻R阻值的變化,歧管內(nèi)的絕對壓力越高,硅膜片的變形越大,從而電阻R的阻值變化也越大。即把硅膜片機械式的變化轉(zhuǎn)變成了電信號,再由集成電路放大后輸出至ECU。
SM5420絕壓型壓力傳感器
SM5420是一種小型的SO - 8封裝的絕壓型壓力傳感器。該產(chǎn)品是美國SMI的產(chǎn)品,它在SM5108傳感芯片的基礎上進行優(yōu)化,其精準度更高,并對其包裝方式進行改進,采用了單個小包裝方式。該產(chǎn)品采用MEMS的生產(chǎn)工藝和高性能測試方法,從而最大限度保障其工作穩(wěn)定性,已保證其優(yōu)越的性能,。具有靈敏度高、動態(tài)響應好、精度高、易于微型化和集成化等特點,因而該傳感器已大批量應用于成本較低的領域。其中在進氣歧管絕對壓力傳感器方面SM5420芯片就得到了典型的廣泛應用!
SM5420工作特性及規(guī)格。
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