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            藍色發(fā)光二極管晶片制備技術(shù)的一些缺陷

            作者: 時間:2011-09-03 來源:網(wǎng)絡(luò) 收藏
            現(xiàn)在LED晶片廠商在制作LED藍色芯片工藝大致分四種:

            1.藍寶石襯底GaN基質(zhì)LED
            這是大多數(shù)晶片廠商常用方式,盡管還在提高材料生長和器件的制作水平,但藍寶石襯底不導(dǎo)電,導(dǎo)熱性能差、劃片困難,抗靜電力差,倒裝焊工藝復(fù)雜,并且橫向電阻大,高電流密度下工作電壓高,浪費能耗。

            2.碳化硅襯底GaN基質(zhì)LED
            由于襯底導(dǎo)電且導(dǎo)熱,目前半導(dǎo)體照明芯片占優(yōu)勢,不過其價格太高,且劃片困難。

            3.GaN襯底GaN基質(zhì)LED
            這種工藝在外延材料質(zhì)量可以明顯提到,但價格存在太高,且器件加工困難。

            4.硅片做GaN材料襯底
            此工藝能使晶片具有良好導(dǎo)電性,晶體質(zhì)量高,尺寸大成本低,易加工。但GaN外延材料與硅襯底之間巨大的晶格失配和熱失配,因此硅襯底上難得器件質(zhì)量的GaN材料。


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