PSD作為一種精密的光電位置傳感器，具有靈敏度高、響應(yīng)時間短、位置分辨率高、光譜響應(yīng)范圍大等特點，因此被廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代光電檢測技術(shù)中，尤其是高精度、高速度的數(shù)據(jù)采集技術(shù)中。如何在極短的響應(yīng)時間內(nèi)實現(xiàn)多數(shù)據(jù)的采集，成了采集PSD輸出數(shù)據(jù)的關(guān)鍵。本文基于單片機技術(shù)，設(shè)計搭建了一套高速的PSD輸出數(shù)據(jù)采集及控制電路，通過在實驗室條件下對PSD輸出數(shù)據(jù)進行采集，從而為后續(xù)的PSD定位精度以及抗干擾研究奠定理論基礎(chǔ)。

1 PSD 的工作原理

光電位置敏感器件PSD(Position Sensitive Detector)是一種基于橫向光電效應(yīng)、連續(xù)分布的半導(dǎo)體位置探測器件，能快速、準(zhǔn)確給出入射光點在光敏面上的位置，即PSD輸出的信號與光點在光敏面上的位置有關(guān)。如圖1所示，表面P+層為感光面，兩邊各有一信號輸出電極。中間為I層，底層的公共電極用于加反向偏壓。當(dāng)光線入射到光敏面上時，由于與結(jié)面平行的橫向電場作用，光生載流子形成向兩端電極流動的電流X1 和X2，且總電流X0 = X1 + X2。

當(dāng)入射光斑與兩電極的間距發(fā)生變化時，兩電極的輸出電流也隨之變化，從而實現(xiàn)了位置測量功能。

如圖2 所示，如果PSD 的面電阻是均勻的，且阻值R1 和R2 遠大于負載電阻RL,則R1 和R2 的值僅取決于光點的位置，即：

式中：L 為PSD 中點到信號電極的距離；x 為入射光點到PSD中點的距離。

將X0 = X1 + X2 代入式(1)，即可得到光點坐標(biāo)：

顯然上式與入射光強X0 無關(guān)，這就是一維PSD 的定位原理。二維PSD的基本原理與一維PSD相同，只是計算公式不同。2 PSD 的選取

本文選取的是瑞典SiTek公司出品的SPC01光電位置傳感器。它是一款二維兩面分流型PSD,采用PSD使用厚膜技術(shù)制造，將PSD傳感器與處理電路集合為一體，處理電路只有前置放大、加法器和減法器，其處理電路框圖如圖3所示。

將輸出電壓Diff X、Diff Y 和Sum X、Sum Y 與二維位置的關(guān)系式為：