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            日本展出用于替代LED藍寶石基板的Mo基板

            作者: 時間:2011-12-04 來源:網絡 收藏
            據日本媒體報道,在“第3屆新一代照明技術展”上,攀時日本(PLANSEE Japan)展出了用于替換嵌入LED結構的的鉬(Mo)基板及鉬銅(MoCu)基板等產品。

            據了解,通過替換成Mo基板或MoCu基板,可提高的散熱性能,而且有助于實現的高功率化及高效率化。據介紹,目前從事廠商正在討論導入該產品。

              下面就介紹一下替換基板的制造工藝。

            首先,在上使GaN系半導體結晶外延生長,然后將Mo基板或MoCu基板粘貼在GaN系半導體結晶上。

            隨后揭下,切割成LED芯片。將藍寶石基板替換成其他基板的技術已用于部分藍色LED芯片,但攀時日本表示,采用Mo基板目前只限于紫外LED芯片。這是因為使用激光劃片(Laser Dicing)方法將利用Mo基板等替換的LED晶圓切割成LED芯片時的速度較慢。“如果是藍寶石基板,激光劃片的速度為100mm/s,而Mo基板卻僅為25mm/s”(該公司解說員)。因此,很難提高LED芯片的生產效率,不適于生產供貨量較多的藍色LED芯片。

              不過,由于激光劃片的技術不斷提高,因此近期很可能在生產芯片等時采用Mo基板進行大量生產。



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