一、 組成結(jié)構(gòu)和工作原理

1、傳感器結(jié)構(gòu)

傳感器的簡(jiǎn)略結(jié)構(gòu)如圖所示，其連桿可以水平方向移動(dòng)，在連桿上固定了薄膜Fizeau干涉儀（TFFI），它的詳細(xì)構(gòu)造如圖所示。

2、工作原理

（1）光信號(hào)調(diào)制

實(shí)際使用時(shí)將傳感器與讀數(shù)器（Demodulator）連接，讀數(shù)器中白光二極管光源發(fā)出的光從連接讀數(shù)器的光纖的一端入射，傳輸?shù)竭B接Fabry- Perot傳感器，再由多模光纖射出，照射在TFFI干涉儀（光楔）的表面。當(dāng)TFFI水平移動(dòng)時(shí)，照點(diǎn)的位置也會(huì)不同。光楔上下兩個(gè)表面都鍍有半反射 膜，因而構(gòu)成了Fabry-Perot腔體。當(dāng)讀數(shù)器發(fā)射的白光的一部分被第一個(gè)半反射鏡反射后，其余的白光穿過(guò)Fabry-Perot腔體，且再一次被 第二個(gè)半反射鏡反射回來(lái)，兩束反射光相互干涉，使得原來(lái)入射白光的光譜被調(diào)制。

假設(shè)光楔的材料是玻璃，取其折射率n=1.6，入射白光二極管波長(zhǎng)范圍根據(jù)文獻(xiàn)[1]取為600nm～1750nm。根據(jù)圖2，光楔上下表面反射光的光程差為2nh，假設(shè)光源光譜所有頻率光波的振幅皆為a，兩束光在相遇點(diǎn)發(fā)生干涉時(shí)的相位差為d，光楔面的反射率為R，透射率為1-R，則合成振幅y為：y=a+aRe-iδ （1）

據(jù)歐拉公式e-iδ＝cosδ－isinδ，可得：y(t)=a(1+ Rcosδ－iRsinδ) （2）

光強(qiáng)與光波振幅的平方成正比，設(shè)光波相遇點(diǎn)的光強(qiáng)度為I，則：

I＝y(tǒng)(t)×y(t)*＝a2(1+R2+2Rcosδ) （3）

對(duì)于TFFI的某個(gè)位置，光楔面的高度為h，不同波長(zhǎng)l的光對(duì)應(yīng)的干涉相位差δ為：

δ＝（2nh/l）×2p＝4pnh/l （4）

光強(qiáng)I的極值為：

I＝a2（1+R2+2R） （5）

在 TFFI干涉儀中，為了形成光的反射面，需要在光楔的上下表面各鍍上一層膜，而鍍膜具有一定的厚度，所以鍍膜上下表面的反射光將形成干涉，會(huì)影響測(cè)量結(jié)果