介紹了用于電子束曝光機(jī)束斑和束流測(cè)量的高精度電流/電壓轉(zhuǎn)換放大器。根據(jù)束流極其微弱這一特定情況，為了得到超低漂移、超低噪聲和強(qiáng)抗干擾的高精度性能指標(biāo)要求，采用了對(duì)稱補(bǔ)償電路設(shè)計(jì)方案，合理選用高精度集成電路作為電路的核心器件。為了加強(qiáng)抗干擾能力，對(duì)關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了針對(duì)性的有效處理。通過(guò)實(shí)際工作運(yùn)行，證明效果良好工作可靠，滿足了電子束曝光機(jī)束斑和束流的高精度測(cè)量要求。