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            采用綜合學(xué)科研究法有效封裝MEMS加速儀(二)

            作者: 時(shí)間:2013-11-19 來源:網(wǎng)絡(luò) 收藏
            料的模量。

            采用綜合學(xué)科研究法有效封裝MEMS加速儀(二)

            圖字:storage modulus (MPa):儲(chǔ)能模量(MPa);Temp:溫度

            圖6 固晶膠E的存儲(chǔ)模量

            用內(nèi)部確定的固晶E的性能對(duì)封裝進(jìn)行的模態(tài)分析表明,它的固有頻率大于20 kHz。此外,圖4顯示了固晶E的裂紋擴(kuò)展能量與固晶A相似,因此不會(huì)產(chǎn)生芯片斷裂的問題。因此,固晶膠E被用于替換固晶膠D,因?yàn)樗浅H犴g,不會(huì)使芯片斷裂,同時(shí)也具有足夠的硬度,滿足共振要求。對(duì)這種新的固晶材料進(jìn)行鑒定檢測(cè)和試封裝后發(fā)現(xiàn),整個(gè)測(cè)試樣本中沒有出現(xiàn)任何芯片斷裂。

            結(jié)語

            本文16引線SOIC封裝的完整工藝流程進(jìn)行了評(píng)估解以了解造成低ppm水平芯片斷裂的裂紋擴(kuò)展和傾向。找出了兩個(gè)危害最大的關(guān)鍵工序。影響最大的是焊接回流工序,其次是引線粘結(jié)工序。引起芯片斷裂的主要參數(shù)是感應(yīng)單元固晶膠的硬度。目前使用的固晶膠D使感應(yīng)單元基片芯片非常容易出現(xiàn)斷裂。通過反向工程確定了可以同時(shí)滿足感應(yīng)單元固有頻率和封裝可靠性需求的固晶材料。采用推薦的固晶膠E后,封裝在處理通常會(huì)引入裂紋和感應(yīng)單元固有頻率要求的工藝時(shí)表現(xiàn)更加強(qiáng)韌。


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            關(guān)鍵詞: MEMS 加速儀

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