為應(yīng)對半導(dǎo)體行業(yè)對高性能工業(yè)相機(jī)的需求，Teledyne旗下的荷蘭高性能工業(yè)相機(jī)制造商Adimec公司近日推出了基于全新Dual CXP12平臺的一系列高分辨率高速工業(yè)相機(jī)，覆蓋500像素到2400萬像素可見光波段、320萬像素和520萬像素短波紅外波段以及800萬像素紫外波段的相關(guān)檢測需求。

1. 可見光波段檢測

隨著半導(dǎo)體檢測和量測技術(shù)的發(fā)展，檢測和量測等應(yīng)用對成像提出了新的挑戰(zhàn)，例如更小的像元尺寸（更簡單容易的鏡頭設(shè)計、更高的精度和同倍率鏡頭下更好的景深）、更高的QE、在紫外波段的響應(yīng)、更小的相機(jī)尺寸，Teledyne Adimec公司Quartz系列的Q-5A255、Q-12A175、Q-16A140、Q-20A105、Q-24A95相機(jī)可以有效滿足這一類需求。

Quartz系列的Q-5A255、Q-12A175、Q-16A140、Q-20A105、Q-24A95相機(jī)使用Sony第四代背照式圖像傳感器，2.74μm BSI圖像傳感器的靶面為需要高分辨率高幀率的應(yīng)用提供了新的方案。這些相機(jī)的分辨率覆蓋500萬到2400萬像素，最高幀速高達(dá)255 fps（binning后幀速820 fps），極大地提高了系統(tǒng)的精度和吞吐量。通過使用Teledyne Adimec的True Accurate Imaging?技術(shù)，每張圖像都保留了信息的準(zhǔn)確性。

Quartz系列雙CXP-12接口的相機(jī)在可見光波段具有出色的感光度，且在400nm左右也具有非常好的響應(yīng)，為紫外波段檢測提供了更加可行且更經(jīng)濟(jì)的新方案。

Quartz系列雙CXP-12接口的相機(jī)采用低功耗，緊湊的外形設(shè)計，無需通過風(fēng)扇強(qiáng)制冷卻。這為系統(tǒng)集成提供了卓越的設(shè)計自由度和最大的系統(tǒng)可靠性。相機(jī)提供Teledyne Adimec Connect和Grab?，讓Quartz系列的相機(jī)具有優(yōu)秀的易用性。

附加選項：可選的傳感器。Quartz系列雙CXP-12接口的平臺可以兼容其他圖像傳感器，如索尼第三代（IMX420, IMX425）、索尼第四代和其他的的SLVS接口圖像傳感器。

2.  短波紅外波段檢測

2022年Teledyne Adimec推出了具有10μm像元、基于SCD CARDINAL 1280圖像傳感器的高端短波紅外相機(jī)，主要定位于半導(dǎo)體檢測行業(yè)的高端檢測需求。隨著3D封裝在半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，對于短波紅外波段的需求不斷增長。

Adimec使用Sony IMX 993和IMX 992圖像傳感器的D-3A170和D-5A130相機(jī)是目前市場上具有較高分辨率和幀率的短波紅外工業(yè)相機(jī)。320萬像素170幀和520萬像素130幀為半導(dǎo)體的高速檢測需求提供了新的選擇。Diamond SWIR D-5A130結(jié)合了索尼IMX992 SWIR高性能圖像傳感器的高分辨率和出色圖像質(zhì)量，以及可靠的高速CoaXPress數(shù)據(jù)接口，具有高速低功耗和緊湊的外形。D-5A130為在線檢測和計量提供了優(yōu)化的圖像，相機(jī)之間具有極高的一致性。

Teledyne Adimec的Diamond SWIR相機(jī)系列旨在為需要1000 nm波長以上挑戰(zhàn)高靈敏度的在線檢測應(yīng)用提供新的解決方案。與CoaXPress接口相結(jié)合的SWIR圖像傳感器大大提高了半導(dǎo)體檢測系統(tǒng)的精度和吞吐量。通過相機(jī)設(shè)計和定制校準(zhǔn)的非均勻性校正，可選的TEC制冷，既保證了機(jī)器的散熱，又保證了出色的圖像性能。

Diamond SWIR相機(jī)的典型應(yīng)用包括晶圓檢測、半導(dǎo)體微裂紋檢測和半導(dǎo)體邊緣裂紋檢測。

3. 紫外波段檢測

Teledyne Adimec的Diamond系列的UV相機(jī)旨在為要求400nm波長以下高靈敏度的極具挑戰(zhàn)性的在線檢測應(yīng)用提供出色的解決方案。

結(jié)合CXP 12接口的D-8A190相機(jī)具有800萬像素和190fps的幀率，將大大提高半導(dǎo)體檢測系統(tǒng)的精度和吞吐量。通過特殊的散熱設(shè)計和Adimec特有的非均勻性校正，保證了優(yōu)秀的圖像性能

Teledyne Adimec Dual CXP12平臺的高性能工業(yè)相機(jī)為半導(dǎo)體行業(yè)的各種缺陷檢測、尺寸測量、3D檢測應(yīng)用提供了全新的解決方案。4.5x44.5x33.5mm和87g的相機(jī)尺寸和重量、高效實用的分辨率和幀率組合、高速穩(wěn)定的雙CXP12接口、低于9w的相機(jī)功耗為客戶提供系統(tǒng)集成的極佳靈活性和穩(wěn)定性，確保每一幀圖像的一致性和穩(wěn)定性，并提高客戶采圖的效率和經(jīng)濟(jì)性。

Diamond UV D-8A190結(jié)合了索尼IMX487圖像傳感器出色的紫外成像能力和可靠的高速CoaXPress數(shù)據(jù)接口，具有高速低功耗和緊湊的外形為在線檢測和計量提供了優(yōu)化的圖像，同時相機(jī)之間具有極高的一致性。

附加選項：Diamond紫外相機(jī)可以定制，以滿足您的特定系統(tǒng)應(yīng)用和架構(gòu)要求。像IMX487這樣的傳感器在某些特殊條件下具有紫外線優(yōu)化選項。

在2025年3月26日-28日上海新國際博覽中心舉辦的中國國際機(jī)器視覺展上，Teledyne Adimec（展位號W5 5413）將會現(xiàn)場展示相關(guān)產(chǎn)品。敬請光臨。