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            邁向 3D 內(nèi)存:三星電子計劃 2025 年完成 4F2 VCT DRAM 原型開發(fā)

            作者: 時間:2024-05-21 來源:IT之家 收藏

            IT之家 5 月 21 日消息,綜合韓媒 ZDNet Korea 和 The Elec 報道,電子執(zhí)行副總裁 Lee Siwoo 在本月舉行的 IEEE IMW 2024 研討會上表示該企業(yè)計劃在明年推出 4F2 VCT DRAM 原型。

            本文引用地址:http://www.biyoush.com/article/202405/459001.htm

            目前 3D DRAM 領域商業(yè)化研究集中在兩種結(jié)構上:

            一種是 4F2 VCT(IT之家注:Vertical Channel Transistor,垂直通道晶體管) DRAM;另一種是 VS-CAT(Vertical Stacked-Cell Array Transistor,垂直堆疊單元陣列晶體管) DRAM。

            前者主要是在 DRAM 單元結(jié)構上向 z 方向發(fā)展,后者則是類似 3D NAND 一樣堆疊多層 DRAM。

            三星 3D DRAM 路線圖

            ▲ 圖源 Semiconductor Engineering

            市面現(xiàn)有的 DRAM 內(nèi)存采用 6F2 結(jié)構,換用 4F2 結(jié)構可縮減約 30% 面積,提高密度,不過也對 DRAM 材料提出了更高的要求。

            除通過堆疊提升容量外,VS-CAT DRAM 還能降低電流干擾。電子預計其將采用單元和外圍邏輯單元分離的雙晶圓結(jié)構,因為延續(xù)傳統(tǒng)的單晶圓設計會帶來嚴重的面積開銷。

            在分別完成單元晶圓和邏輯單元晶圓的生產(chǎn)后,需要進行晶圓對晶圓(W2W)混合鍵合,才能得到 VS-CAT DRAM 成品,這一過程類似于長江存儲在 3D 閃存中使用的 Xtacking 技術。

            目前電子已在內(nèi)部實現(xiàn)了 16 層堆疊的 VS-CAT DRAM,美光方面處于 8 層堆疊的水平。

            三星電子還在會議上探討了將 BSPDN 背面供電技術用于 3D DRAM 內(nèi)存的可能性,Lee Siwoo 認為該技術有助于于未來對單個內(nèi)存 bank 的精細供電調(diào)節(jié)。




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