生產(chǎn)力提升15% ASML交付首臺極紫外光刻機(jī)
加入技術(shù)交流群
芯研所消息，ASML第一臺全新TWINSCAN NXE:3600D EUV光刻機(jī)系統(tǒng)已經(jīng)交付給客戶，和前代產(chǎn)品相比生產(chǎn)力提高了約15-20％，套刻精度提高了約30％。
本文引用地址：http://www.biyoush.com/article/202107/427109.htm
據(jù)了解，本次交付的TWINSCAN NXE:3600D EUV光刻機(jī)的EUV光源波長13.5nm左右，物鏡NA數(shù)值孔徑0.33，第二代EUV光刻機(jī)將會是NXE:5000系列，物鏡NA提升到0.55，進(jìn)一步提高光刻精度。
ASML表示，正努力增加EUV光刻機(jī)在存儲行業(yè)的量產(chǎn)應(yīng)用，計劃協(xié)助三個DRAM內(nèi)存芯片客戶在未來的工藝節(jié)點(diǎn)中導(dǎo)入EUV。
評論