作為國(guó)內(nèi)最大最先進(jìn)的晶圓代工廠,中芯國(guó)際SMIC在疫情疫情期間依然沒有停產(chǎn),同時(shí)還在擴(kuò)大14nm等先進(jìn)工藝產(chǎn)能。日前羊城晚報(bào)報(bào)道稱,中芯國(guó)際進(jìn)口的荷蘭ASML光刻機(jī)順利入廠。

據(jù)報(bào)道,這次購(gòu)買光刻機(jī)的是中芯國(guó)際集成電路制造(深圳)有限公司,昨天他們從荷蘭進(jìn)口的一臺(tái)大型光刻機(jī)順利通過(guò)出口加工區(qū)場(chǎng)站兩道閘口進(jìn)入廠區(qū)。

據(jù)悉,這臺(tái)機(jī)器主要用于企業(yè)復(fù)工復(fù)產(chǎn)后的生產(chǎn)線擴(kuò)容。

中芯國(guó)際表示,坪山海關(guān)一系列服務(wù)措施,保障了設(shè)備第一時(shí)間進(jìn)入廠區(qū)完成安裝進(jìn)入生產(chǎn),生產(chǎn)線擴(kuò)容后全年預(yù)計(jì)可為企業(yè)增加10%左右的營(yíng)收。

報(bào)道沒有提及中芯國(guó)際購(gòu)買的光刻機(jī)的詳情,不過(guò)肯定可以排除最新的EUV光刻機(jī),現(xiàn)在進(jìn)口的應(yīng)該還是193nm波長(zhǎng)的DUV系列光刻機(jī)。

ASML的DUV光刻機(jī)型號(hào)

雖然沒有EUV技術(shù),但ASML的沉浸式DUV光刻機(jī)依然可以制造28nm到7nm之間的各種芯片,中芯國(guó)際此前也表態(tài)下兩代工藝N+1、N+2(相當(dāng)于7nm LPE低功耗、7nm LPP高性能)也不會(huì)上EUV光刻機(jī)。

與EUV光刻機(jī)動(dòng)輒1億美元以上的售價(jià)相比,DUV光刻機(jī)要便宜很多,但也要3000-5000萬(wàn)美元,還要有數(shù)目不菲的安裝服務(wù)費(fèi)用,足以讓很多小公司望而卻步。

中芯國(guó)際沒有公布擴(kuò)產(chǎn)的工藝具體是什么,但99%可能是14nm工藝,這是2020年中芯國(guó)際重點(diǎn)中的重點(diǎn),去年底產(chǎn)能不過(guò)1000片/月,今年3月將達(dá)到4K,7月達(dá)到9K,12月達(dá)到15K。

根據(jù)中芯國(guó)際聯(lián)席CEO梁孟松的說(shuō)法,1000片/月的產(chǎn)能就差不多要1億美元的投入,15K晶圓/月的產(chǎn)能意味著15億美元的投資。

放在以前,這樣的投資是不劃算的,不過(guò)現(xiàn)在這兩年情況不同了,中芯國(guó)際的14nm及未來(lái)的7nm工藝無(wú)論如何都是要上的。