日前，蘇州工業(yè)園區(qū)納米產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院有限公司傳出消息，其公司負(fù)責(zé)的MEMS中試量產(chǎn)平臺(tái)（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“平臺(tái)”）目前運(yùn)行良好，已服務(wù)客戶60余家、產(chǎn)品180余顆，2019年預(yù)計(jì)出貨超過(guò)20000片6寸片，年出貨量在全國(guó)代工線中名列前茅。

MEMS制造環(huán)節(jié)門(mén)檻高、技術(shù)含量高，是制約中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展的瓶頸，也是從實(shí)驗(yàn)室到可銷(xiāo)售產(chǎn)品的最核心的支撐環(huán)節(jié)。為構(gòu)建“研發(fā)——中試——規(guī)模生產(chǎn)”完整的MEMS產(chǎn)業(yè)鏈鏈，加快MEMS企業(yè)創(chuàng)新和規(guī)?；砷L(zhǎng)過(guò)程，2013年，蘇州納米科技發(fā)展有限公司（蘇州工業(yè)園區(qū)國(guó)資辦下屬?lài)?guó)資公司，以下簡(jiǎn)稱(chēng)納米公司）代表蘇州工業(yè)園區(qū)管委會(huì)，策劃籌建了蘇州工業(yè)園區(qū)納米產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院有限公司MEMS中試量產(chǎn)平臺(tái)（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“平臺(tái)”）。

平臺(tái)得到了工信部等各級(jí)政府支持，以支撐蘇州工業(yè)園區(qū)及中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展為主要使命，完全按照代工模式建立，服務(wù)于各類(lèi)企業(yè)、科研院所、研發(fā)機(jī)構(gòu)、創(chuàng)業(yè)團(tuán)隊(duì)，提供研發(fā)支持、代工服務(wù)，全開(kāi)放、市場(chǎng)化運(yùn)營(yíng)，從根本上解決MEMS設(shè)計(jì)企業(yè)產(chǎn)品化的難題。

平臺(tái)2014年首顆產(chǎn)品通線，2017年真正實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，經(jīng)過(guò)多年的努力，形成了一支完整的高水平技術(shù)團(tuán)隊(duì)，積累了國(guó)內(nèi)種類(lèi)最多的MEMS產(chǎn)品量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，申請(qǐng)了60多項(xiàng)發(fā)明專(zhuān)利，已成為國(guó)內(nèi)工藝種類(lèi)最全、部分工藝能力最強(qiáng)的MEMS代工線。另外，平臺(tái)已與日本愛(ài)發(fā)科簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議，共同開(kāi)發(fā)下一代MEMS關(guān)鍵技術(shù)——PZT壓電薄膜MEMS傳感器，明年年初將成為國(guó)內(nèi)首個(gè)可量產(chǎn)PZT MEMS器件的產(chǎn)線，為國(guó)內(nèi)企業(yè)搶抓下一代MEMS產(chǎn)品先機(jī)提供了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。在此基礎(chǔ)上，平臺(tái)正計(jì)劃建設(shè)8英寸線，更好地支撐國(guó)內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展。