靜電一直以來就是半導體和面板行業(yè)關注的問題，由于其產生的靜電釋放和吸附會造成的元件損傷進而影響生產產品良率。

以面板行業(yè)為例，玻璃面板在制造工藝過程中不斷被摩擦、移動、吸附、加壓、分離、加熱、冷卻等而持續(xù)產生靜電，在特定的情況下就會發(fā)生靜電放電現(xiàn)象。由于面板大尺寸、高集成度、靜電分布不均勻、測試空間狹小、測試距離遠，所以傳統(tǒng)手持式靜電場測試儀難以量測到準確的靜電電壓數(shù)值，不能滿足當前面板工藝的檢測要求。

因此，美商衛(wèi)利引進了日本Hanwa公司全新的在線靜電檢測設備(如圖1所示)，它采用多點檢測探頭，利用數(shù)值、視覺、圖表三種模式切換實時顯示靜電數(shù)據(jù)，是最新在線、功能測試解決方案。

圖1 在線靜電測試設備

使用這種設備我們在面板行業(yè)不同工藝段進行了相關測試，利用配套的軟件得到了原始數(shù)據(jù)和視覺圖像(如圖2、3所示)。

圖2 原始Excel數(shù)據(jù)(顯示不同測試點所對應靜電量)

圖3 視覺圖像(不同測試點借由顏色深淺顯示靜電量大小)

在整個面板轉運過程中，通過后期數(shù)據(jù)和圖像分析，能夠發(fā)現(xiàn)不同環(huán)節(jié)面板表面靜電量變化情況，針對特定變化規(guī)律及數(shù)據(jù)對比使我們有了更多手段去發(fā)現(xiàn)并改善生產潛在的危險(如圖4所示)。

圖4后期數(shù)據(jù)分析(顯示面板在轉運過程中整片玻璃靜電量變化)

我們可以利用這套新的系統(tǒng)所產生的信息來分析制程中機臺接地是否良好，滾輪及頂針防靜電效果是否達到預期，離子棒安裝位置以及角度、高度是否合適等來確定采取的各種防靜電手段是否有效。