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            4nm大戰(zhàn),三星搶先導入將EUV,研發(fā)GAAFET

            作者: 時間:2017-12-01 來源:集微網(wǎng) 收藏

              晶圓代工之戰(zhàn),7nm制程預料由臺積電勝出,之戰(zhàn)仍在激烈廝殺。 Android Authority報道稱,三星電子搶先使用極紫外光()微影設(shè)備,又投入研發(fā)能取代「鰭式場效晶體管」(FinFET)的新技術(shù),目前看來似乎較占上風。

            本文引用地址:http://www.biyoush.com/article/201712/372382.htm

              Android Authority報導,制程不斷微縮,傳統(tǒng)微影技術(shù)來到極限,無法解決更精密的曝光顯像需求,必須改用波長更短的, 才能準確刻蝕電路圖。 5nm以下制程,是必備工具。 三星明年生產(chǎn)7nm時,就會率先采用EUV,這有如讓三星在6nm以下的競賽搶先起跑,可望加快發(fā)展速度。

              相較之下,臺積電和格羅方德的第一代7nm制程,仍會使用傳統(tǒng)的浸潤式微影技術(shù),第二代才會使用EUV。

              制程微縮除了需擁抱EUV,也需開發(fā)FinFET技術(shù)接班人。 晶體管運作是靠閘極(gate)控制電流是否能夠通過,不過芯片越做越小,電流信道寬度不斷變窄,難以控制電流方向,未來FinFET恐怕不敷使用,不少人認為「閘極全環(huán)場效晶體管」( Gate-all-around FET,GAAFET)是最佳解決方案。

              今年稍早,三星、格芯和IBM攜手,發(fā)布全球首見的5nm晶圓技術(shù),采用EUV和GAAFET技術(shù)。 三星路徑圖也估計,F(xiàn)inFET難以在5nm之后使用,將采用GAAFET。 盡管晶圓代工研發(fā)不易,容易遇上挫折延誤,不過目前看來三星進度最快。 該公司的展望顯示,計劃最快在2020年生產(chǎn),進度超乎同業(yè),也許有望勝出。



            關(guān)鍵詞: 4nm EUV

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