I-V測量技術(shù)的發(fā)展
高速I-V測試的早期實(shí)現(xiàn)方式(通常稱之為脈沖式I-V測試系統(tǒng))是針對諸如高k介質(zhì)和絕緣體上硅(SOI)恒溫測試[4],或產(chǎn)生閃存器件特征分析所必需的短脈沖之類的應(yīng)用而開發(fā)的。脈沖式I-V測量技術(shù)是十分必要的,這是因?yàn)楫?dāng)采用傳統(tǒng)直流I-V測試方法時,它們的絕緣襯底使得SOI器件保留了測試信號自身產(chǎn)生的熱量,使測得的特征參數(shù)發(fā)生偏移;而采用脈沖式測試信號能夠最大限度減少這種影響。
過去,高速脈沖/測量測試系統(tǒng)通常由脈沖發(fā)生器、多通道示波器[5]、互連硬件和負(fù)責(zé)集成并控制儀器的軟件構(gòu)成。不幸的是,這些系統(tǒng)受延遲的影響,信號源和測量功能之間的協(xié)同非常復(fù)雜。根據(jù)儀器的質(zhì)量及其集成的情況,這種方式在產(chǎn)生的脈沖寬度及其占空比方面還有局限性。即時不管這些局限性,這些早期脈沖式I-V測試系統(tǒng)的用戶已開始尋求將其用于各種其它特征分析任務(wù),包括非易失性存儲器測試、超快NBTI[6]可靠性測試和很多其它應(yīng)用。但是,由于這些系統(tǒng)動態(tài)量程有限,它們?nèi)匀槐A袅艘恍┨厥獾募夹g(shù)。
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