本文僅僅探討了納米技術(shù)[1]的多種應(yīng)用中的少數(shù)幾個(gè)，以及需要更為深入地理解所研究的器件和材料時(shí)必須采用的測(cè)量方法。每天，各研發(fā)實(shí)驗(yàn)室都誕生各種新的思想和創(chuàng)新點(diǎn)。隨著新點(diǎn)子的出現(xiàn)，人們也需要各種新的、不同的測(cè)量手段。例如，研究者們感興趣的是，如何在測(cè)量材料[2]的力學(xué)特性的同時(shí)還可以相應(yīng)觀察其電特性。人們?nèi)匀恍枰梢暬侄?，以便觀察在原子水平上正在發(fā)生什么現(xiàn)象。在分子和原子水平上，某些現(xiàn)象的發(fā)生速度常常過(guò)快。為了測(cè)定這些時(shí)間，就必需提升現(xiàn)有測(cè)量方法的速度，并降低其噪聲。若施加過(guò)大的電流，就容易破壞納米和分子電子器件。儀器必需能夠限制功率的大小，以便將焦耳發(fā)熱效應(yīng)保持在最低水平上。另外，在輸出電壓信號(hào)[3]以測(cè)量器件時(shí)，分辨率低至1mV的電壓步進(jìn)輸出將具有重要價(jià)值，只有這樣才能讓研究者能清晰地看到在一個(gè)很小的步進(jìn)變化過(guò)程中發(fā)生的現(xiàn)象。

按如下所示的四個(gè)步驟可以實(shí)現(xiàn)出色的納米測(cè)量，從而增強(qiáng)人們對(duì)測(cè)試結(jié)果的信心。
•確定測(cè)量質(zhì)量。理解所需要的靈敏度、分辨率和精度指標(biāo)。
•設(shè)計(jì)測(cè)量系統(tǒng)。選擇恰當(dāng)?shù)墓ぞ摺㈦娏?、探針系統(tǒng)和夾具。
•建造系統(tǒng)并檢驗(yàn)其性能。理解你所處的環(huán)境中的潛在誤差源，或者消除這些誤差。清楚系統(tǒng)能做什么測(cè)量。
•開(kāi)始進(jìn)行測(cè)量