據(jù)調(diào)研機構(gòu) Gartner 數(shù)據(jù)，全球前五大半導(dǎo)體設(shè)備廠已囊括市場近六成市占，大廠間各擅勝場，且爭斗明顯打得火熱，不只艾司摩爾，近三年來另外兩大半導(dǎo)體設(shè)備廠應(yīng)材、科林都相繼大手筆發(fā)動并購。

　　據(jù) Gartner、投資研究網(wǎng)站 Seeking Alpha 數(shù)據(jù)，以應(yīng)用材料(Applied Materials)在半導(dǎo)體設(shè)備市場市占為最高來到 19.1%，產(chǎn)品線涵蓋也最廣，尤在蝕刻與化學氣相沉積(CVD)領(lǐng)域別有專精，2013 年 9 月應(yīng)材原與第四大廠東京威力科創(chuàng)(Tokyo Electron)決議合并，工研院 IEK 產(chǎn)業(yè)情報網(wǎng)當時分析，若合并成功，兩者形成的新公司市占將接近 28%、有 12 項設(shè)備市占達全球第一，不料最終這項并購被美國司法部擋下。

　　(Source： Seeking Alpha)

　　而 2015 年以 14.3% 市占躋身第二的科林(Lam Research Corp.)主要在蝕刻機臺、薄膜沉積設(shè)備擁有不小的市場，原本的市場二哥艾司摩爾(ASML)，2015 年市占落到 14.1% 屈居第三，艾司摩爾主要則以曝光機見長，在半導(dǎo)體進到 10 奈米以下制程競賽后，其所開發(fā)的極紫外光(EUV)機臺也日受重視。

　　科林在 2015 年 10 月才宣告并購老五科磊(KLA-Tencor Corp.)再度擴張版圖，科磊產(chǎn)品線主要以光學檢測(Optical)為主，主要精于制程良率的控管，科林的制程設(shè)備加上科磊的檢測設(shè)備正好建立起更完善一站式服務(wù)，而今市占被超越的艾司摩爾并漢微科除了能收一樣的綜效，或也多了幾分與科林/科磊大聯(lián)盟相抗衡的意味。

　　科磊的光學檢測(Optical)與漢微科的電子束檢測(E Beam)剛好分屬兩種不同的檢測技術(shù)，光學檢測強調(diào)大面積的宏觀檢查，電子束則為細微的檢測，耗時較長，但能測出實體缺陷與電性缺陷，在光學式檢測達到本身極限下，電子速檢測日趨受到重視。漢微科本身在電子束檢測的市占就高達八成以上，艾司摩爾藉此補足了相較于應(yīng)材、科林兩大廠所缺乏的光學檢測技術(shù)。