1 引言

隨著光通信技術的迅速發(fā)展，MEMS光開關由于具有插入損耗和串話小、消光比高、穩(wěn)定性好、透明性和可擴展性好、易于集成、偏振不靈敏等優(yōu)點，將成為核心光交換器件的主流。其靜電驅動是目前廣泛研究的一種，常見的靜電驅動方式有：梳狀電極、SDA（scratch drive actuator）、懸臂驅動和扭臂驅動等。懸臂和扭臂驅動的驅動電壓高 于前兩者，但結構簡單、工藝上容易實現(xiàn)。在選取其微反射鏡最佳工作狀態(tài)時，需要電壓、頻率，占空比連續(xù)可調的方波信號為激勵源。傳統(tǒng)的選取方法需要示波器、脈沖信號發(fā)生器，直流穩(wěn)壓源三臺儀器協(xié)調工作才能完成，并且存在諸多弊端，如：測量儀器成本高、操作繁瑣、測試周期長、測量精度低等。而在本文介紹的測量平臺中，通過高幅值利用單片機控制脈沖頻率的方法來選擇器件。與當前同類方法相比，具有精度高、可靠性強、成本低、易操作等優(yōu)點。

2 光開關工作原理

圖1為2×2微機械光開關的結構示意圖，可以采用體硅微機械加工的方法在（100）硅片上制作。微反射鏡和上電極連在一起，在沒有電壓輸入時，上電極的位置不動，微反射鏡處在光通路上，從入射光纖發(fā)出的光被微反射鏡反射，改變方向后進入到鏡面同一側的出射光纖中，這是開關的反射狀態(tài)。當上電極和下電極之間有電壓輸入時，在靜電力的作用下，上電極帶動微反射鏡移開光通路，入射光沿直線傳播進入前方的出射光纖，這是開光的直通狀態(tài)。圖2為閾值電壓隨扭梁的厚度變化曲線，圖3為驅動電壓與懸梁位移之間的關系曲線。

3 方案設計與分析

其工作原理是先由單片機產(chǎn)生頻率占空比可調的脈沖信號，但因最終信號的電壓幅值在40～70V，遠大于單片機的工作電壓（5V），故將單片機產(chǎn)生的信號先接光耦隔離，再輸出到后級的放大電路，然后根據(jù)放大電路的調整，輸出峰峰值可調的信號。由此可見系統(tǒng)設計主要涉及三個關鍵部分：產(chǎn)生頻率和占空比可調的方波信號、信號放大以及最終信號幅值的測量。

3.1方波信號源的設計

方波信號的產(chǎn)生電路主要由AT89C2051單片機、晶振電路、鍵盤參數(shù)輸入和LED狀態(tài)顯示等部分組成。單片機AT89C2051由軟件控制，產(chǎn)生方波信號。軟件的設計是利用AT89C2051內計數(shù)器/定時器T0和T1互相配合來控制方波的頻率和占空比的。AT89C2051使用12M晶振，所以單片機執(zhí)行一條指令的時間為1μs,這樣根據(jù)鍵盤輸入的頻率值f和占空比d, 得到周期時間常數(shù)Tt（T t=1/f）和正脈沖的時間長度T d(Td=Tt×d%),分別送給計數(shù)器/定時器T0、T1。T0、T1同時開始計數(shù)，同時使輸出為高電平，因為Td≤T t, 故T1首先計滿溢出，執(zhí)行T1的中斷服務子程序，拉低輸出電平使輸出低電平，同時停止T1計數(shù)。在等待一段時間，待到T0計滿， 再調用執(zhí)行T0的中斷服務子程序， T0、T1重新裝載定時常數(shù)并開始計時，同時把輸出電平拉回高電平。由此完成一個周期的輸出。頻率和占空比的改變只需改變T0、T1的定時常數(shù)。輸出的波形如圖4。