圖7中給出燒結(jié)溫度500 ℃濕敏元件在不同相對濕度下的復(fù)阻抗圖(測試電壓為1V)，橫軸和縱軸分別為復(fù)阻抗的實部Re(z)和虛部Im(Z)，頻率范圍為10Hz～100kHz。
圖7中，當(dāng)相對濕度較高時，復(fù)阻抗曲線近似為一個小半圓。電介質(zhì)理論中，這種復(fù)阻抗的半圓可以等效為一個電阻和電容并聯(lián)的等效電路，電阻可以表示濕敏材料導(dǎo)電載流子導(dǎo)電即材料顆粒和顆粒間界面載流子導(dǎo)電。
電容可以表示材料的極化粒子導(dǎo)電，即顆粒界面空間電荷極化以及吸附水分子極化電荷導(dǎo)電。隨著濕度的增加，半圓逐漸減小(通過橫縱坐標的尺度可以看出)，這是因為低濕時水分子濃度較低，在材料表面呈單分子吸附，不能形成連續(xù)水膜，需要依靠氧化鈦半導(dǎo)體材料自身導(dǎo)電，因此材料自身的阻抗是總阻抗的主要部分，隨著濕度增大，吸附水的電離導(dǎo)電逐漸增強，吸附的水電離出更多地H+和OH-，使得電極處的空間電荷極化作用也逐漸增強，電阻降低，使半圓的半徑變小。

4 結(jié)語
在LabVIEW 8．2開發(fā)環(huán)境下，基于模塊化設(shè)計方法實現(xiàn)了濕敏元件性能參數(shù)的自動測試與分析，該系統(tǒng)利用了計算機系統(tǒng)強大的數(shù)據(jù)處理和顯示能力，省去許多手工操作，解決了限制濕度傳感器發(fā)展的測試困難問題。通過應(yīng)用于氧化鈦基濕敏元件特性研究的實驗中，結(jié)果證明，系統(tǒng)可以高效率的對濕敏元件性能參數(shù)做出快速測試與準確的分析，使用方便且性能可擴展。