摘要：討論CST檢測(cè)特性，分析了各種CST傳感器檢測(cè)電路。對(duì)調(diào)頻檢測(cè)電路造成頻率不穩(wěn)定進(jìn)行了較全面的分析，得到影響振蕩頻率的原因以及這些影響的共同特征，從而提出了一種新的差動(dòng)變頻檢測(cè)(DFCT)技術(shù)方案。對(duì)此方案進(jìn)行了電路設(shè)計(jì)制作，檢測(cè)試驗(yàn)。檢測(cè)試驗(yàn)結(jié)果表明用于電容差動(dòng)變頻檢測(cè)(DFCT)技術(shù)的頻率穩(wěn)定性比一般的變頻檢測(cè)(DFCT)技術(shù)高2～3個(gè)數(shù)量級(jí)，得到頻率穩(wěn)定性很高的檢測(cè)電路。
關(guān)鍵詞：檢測(cè)技術(shù)；CST傳感器；動(dòng)態(tài)響應(yīng)；頻率穩(wěn)定性；差頻

0 引言
檢測(cè)技術(shù)作為信息科學(xué)的一個(gè)重要分支，與計(jì)算機(jī)技術(shù)、自動(dòng)控制技術(shù)和通信技術(shù)等一起構(gòu)成了信息技術(shù)的完整學(xué)科。在人類進(jìn)入信息時(shí)代的今天，人們的一切社會(huì)活動(dòng)都是以信息獲取與信息轉(zhuǎn)換為中心，傳感器作為信息獲取與信息轉(zhuǎn)換的重要手段，是信息科學(xué)最前端的一個(gè)陣地，是實(shí)現(xiàn)信息化的基礎(chǔ)技術(shù)之一。
“沒有傳感器就沒有現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)”的觀點(diǎn)已為全世界所公認(rèn)。以傳感器為核心的檢測(cè)系統(tǒng)就像神經(jīng)和感官一樣，源源不斷地向人類提供宏觀與微觀世界的種種信息，成為人們認(rèn)識(shí)自然、改造自然的有利工具。隨著社會(huì)的發(fā)展、技術(shù)的進(jìn)步，電容傳感器(CS)在傳感器技術(shù)中發(fā)揮著越來越重要的作用。
電容傳感器(CS)具有許多優(yōu)良的特性：
(1)溫度穩(wěn)定性好
傳感器的電容值一般與電極材料無關(guān)，僅取決于電極的幾何尺寸，且空氣等介質(zhì)損耗很小，因此只要從強(qiáng)度、溫度系數(shù)等機(jī)械特性考慮，合理選擇材料和幾何尺寸即可，其他因素(因本身發(fā)熱極小)影響甚微。
(2)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，適應(yīng)性強(qiáng)
電容式傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于制造。能在高低溫、強(qiáng)輻射及強(qiáng)磁場(chǎng)等各種惡劣的環(huán)境條件下工作，適應(yīng)能力強(qiáng)，尤其可以承受很大的溫度變化，在高壓力、高沖擊、過載等情況下都能正常工作，能測(cè)超高壓和低壓差，也能對(duì)帶磁工件進(jìn)行測(cè)量。此外傳感器可以做得體積很小，以便實(shí)現(xiàn)某些特殊要求的測(cè)量。
(3)動(dòng)態(tài)響應(yīng)好
電容式傳感器由于極板間的靜電引力很小，(約幾個(gè)10-5N)，需要的作用能量極小，又由于它的可動(dòng)部分可以做得很小很薄，即質(zhì)量很輕，因此其固有頻率很高，動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間短，能在幾兆赫茲的頻率下工作，特別適合動(dòng)態(tài)測(cè)量。又由于其介質(zhì)損耗小可以用較高頻率供電，因此系統(tǒng)工作頻率高。它可用于測(cè)量高速變化的參數(shù)，如測(cè)量振動(dòng)、瞬時(shí)壓力等。
(4)可以實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量、具有平均效應(yīng)
當(dāng)被測(cè)件不能允許采用接觸測(cè)量的情況下，電容傳感器可以完成測(cè)量任務(wù)。當(dāng)采用非接觸測(cè)量時(shí)，電容式傳感器具有平均效應(yīng)，可以減小工件表面粗糙度等對(duì)測(cè)量的影響。
電容式傳感器除上述優(yōu)點(diǎn)之外，還因帶電極板間的靜電引力極小，因此所需輸入能量極小，所以特別適宜低能量輸入的測(cè)量，例如測(cè)量極低的壓力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很靈敏，分辨力非常高，能感受0．001 m甚至更小的位移。
不足：輸出阻抗高，負(fù)載能力差；寄生電容影響大；輸出特性非線性。

1 CST檢測(cè)電路分析
CST的檢測(cè)電路非常多，常見的有如下幾種：
1．1 電橋檢測(cè)電路
1．1．1 檢測(cè)電路
電橋檢測(cè)電路原理圖如圖1所示，分為單臂接法和雙臂接法。對(duì)圖1(a)單臂接法，電橋平衡時(shí)：

1．1．2 檢測(cè)電路特點(diǎn)
(1)高頻交流正弦波供電；
(2)電橋輸出調(diào)幅波，要求其電源電壓波動(dòng)極小，需采用穩(wěn)幅、穩(wěn)頻等措施；
(3)通常處于不平衡工作狀態(tài)，所以傳感器必須工作在平衡位置附近，否則電橋非線性增大，且在要求精度高的場(chǎng)合應(yīng)采用自動(dòng)平衡電橋；
(4)輸出阻抗很高(幾兆歐姆至幾十兆歐姆)，輸出電壓低，必須后接高輸入阻抗、高放大倍數(shù)的處理電路。
1．2 二極管雙T形檢測(cè)電路
1．2．1 電路原理
電路原理如圖2所示，其供電電壓是幅值為±E、周期為T、占空比為50％的方波。若將二極管理想化，則當(dāng)電源為正半周時(shí)，電路等效成典型的一階電路，其中二極管D1導(dǎo)通D2截止，電容C1被以極其短的時(shí)間充電，其影響可不予考慮。電容C2的電壓初始值為E，通過Rf放電，放電電流i2。電源為負(fù)半周時(shí)，D1截止、D2導(dǎo)通，電容C1通過Rf放電，放電電流i1，電容C2則被充電。根據(jù)一階電路時(shí)域分析的三要素法，當(dāng)R1=R2=R，可直接得到負(fù)載上的電流I0為：

式中：f為充電電源的頻率，電路最大靈敏度發(fā)生在1／k1=1／k2=0．57的情況下。