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            藍光LED光子晶體技術原理及制程詳解

            作者: 時間:2011-05-29 來源:網絡 收藏

              與Surface Grating 相較下,雖然Resonant Cavity 在電流的注入上會比較容易,不過,ResonantCavity 本身也會有問題存在,那就是共振器 在制作上比較困難,制作困難就代表說成本就會提高,對于 大家都希望可以以低成本量產,這就造成了發(fā)展瓶頸,Penetration與Resonant Cavity 這2 個設計,只是在 上面加上一個二次元的設計,這樣的設計是可以用上原本既有的LED 上。

              5、藍色LED 運作

              現有的LED 結構,可以看到他的全反射,臨界度是比較小的,主要是因為表面將光全部反射,相對的,藍色LED 所設計出來的LED,由于衍射的關系,可以修正光的角度,修正后的光可以比臨界角還小,并可進入臨界角投射到外面,改善過去LED 的光會全部反射的問題。從LED 的活性層發(fā)射出來的光,我們可以360 度放射出去,但以往的LED 只能受限于臨界角,只能在臨界角范圍內發(fā)光,在臨界角內的光才能發(fā)射出去,我們知道臨界角范圍內的面積只占整個范圍的4%,所以相對的光就比較廣,能有更多的面積將光反射出去,就是利用這個將發(fā)光效率提高。

              6、光子晶體的設計要點

              在光子晶體的設計上有一些重點,有一個指標是周期這一部分,周期和衍射的距離有關,如果周期越小,衍射的距離就越大,縱使經過修正后還是沒有辦法將光發(fā)射到外面去。相對的如果周期變大,衍射的距離越小,因為這樣的關系,光就可以移到外面去了,所以在設計上需要找到一個最適合的周期。

              還有一個要點就是高度,高度跟衍射的效率有相當緊密的相關聯性,實際上并不是所有的光都會受到衍射的影響,受到衍射影響的光都會跟衍射率產生相關聯,所以這兩個重要指標就是在開發(fā)光子晶體LED 時,需要計算出最適當數值的G 值,所以在設計上就必須經過相當精的密計算來取得G 值。

              而在設計中,如何去計算出LED 表面需要多少光,可以利用FDTD 計算方式來做一些運算,這個計算方式在光子晶體上是普遍被運用的一個方式。非光子晶體的LED,是屬于表面比較平坦的一種LED。非光子晶體的LED 產生光后,跟空氣接觸的光源那部分,會因為表面全反射掉。

              而光子晶體LED 的設計,可以讓光不受反射影響,將光反射到外面。而高度的部分也是成曲線分布,到某一個高度時,效率是最高的,可以看見發(fā)光效率最高的周期是在1.5 微米的地方,而發(fā)光效率最高是0.25 微米,由此可見,在這個區(qū)域是一個非常長的周期,非常短的高度,這就顯示說光子晶體的制作非常簡單,只要找出最適合的周期1.5 微米,比發(fā)光波長還要長的一個周期,然而常說現有的LED 至少要克服這樣的條件,但是從這里的設計可以看出,即使這個周期很長,還是可以達到高效率,所以對于這種光子晶體設計,稱之為長周期光子晶體。

              所以,設計的光子晶體LED周期是比較長的,此外,還有另外的一個特色,就是在光子晶體的表面鍍上一整面的薄膜,這個薄膜就是透明電極,透過這個薄膜設計,光可以從整個面都可以發(fā)光出去。7、光子晶體LED制程

              制作的光子晶體LED 上透明電極的影響作的解釋,可以看到,無論有沒有涂上透明電極,對發(fā)光效率并沒有很大影響。根據這個結果,我們就很放心的在光子晶體上覆上一層透明電極。利用藍寶石作為基板,再經過MOCVD、EB 和RIE ETCHING 等等制程,制作出來二次元的光子晶體LED。

              根據我們的說法,目前暫時是利用EB 的方式,但以后在正式量產或商品化時,就會用另一個成本更低的做法,另外還會做乾式(Dry)Etching,再形成一個透明電極和電極板。就理論來說,在計算后的結果應該是高出3 倍的,但是在這次實驗后,得出的結果卻只有高出50%。分析原因有可能是在光子晶體形成的制造過程中,所使用的數值并不是最適當的數值。所以我們相信,只要改變這個流程,發(fā)光效率應該就會像計算的數值一樣達到3 倍。

              此外,另外一個可能是在制程中出現一小瑕疵,那就是在芯片中有一個小裂縫,而這個裂縫的出現,也會影響到整個LED 的發(fā)光效能

              8、透過透明電極可達到大面積的發(fā)光

              我們是第一個將光子晶體運用導入藍色LED,而且很成功。發(fā)光效率達到1.5 倍。相信業(yè)界透過這樣不斷的研究,顯示出固體白光照明的商品化應該是指日可待的。這個絕對可以運用并量產。另外一點,光子晶體的獨特設計使得長周期構造可以實現。因為這樣的長周期構造讓GaN的光子晶體的應用更容易實現。另外,經過實際的制作后,我們也證實了一件事,在光子晶體的表面都覆上了一整面的透明電極,這樣一個獨特設計,使得大面積的發(fā)光能夠具體實現。


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