隨著數(shù)字信號處理技術(shù)的發(fā)展，使用數(shù)字音頻技術(shù)的電子產(chǎn)品越來越多。數(shù)字音頻接口成為發(fā)展的潮流，采用脈沖密度調(diào)制（PDM）接口的ECM和MEMS數(shù)字麥克風也孕育而生。目前，ECM和MEMS數(shù)字麥克風已經(jīng)成為便攜式筆記本電腦拾音設(shè)備的主流。

數(shù)字ECM或MEMS麥克風和傳統(tǒng)的ECM麥克風相比，有著不可取代的優(yōu)勢。首先，移動設(shè)備向小型化數(shù)字化發(fā)展，急需數(shù)字拾音器件和技術(shù)；第二，設(shè)備包含的功能單元越來越多，如筆記本電腦，集成了藍牙和WiFi無線功能，麥克風距離這些干擾源很近，設(shè)備對抗擾要求越來越高；第三，三網(wǎng)合一的發(fā)展，需要上網(wǎng)，視頻和語音通信可以同時進行，這在移動設(shè)備中通常會遇到環(huán)境噪聲和回聲的影響；第四，從提高生產(chǎn)效率角度，希望對麥克風采用SMT焊接。數(shù)字麥克風適合SMT焊接，可以解決系統(tǒng)各種射頻干擾對語音通信產(chǎn)生的噪聲，富迪科技的數(shù)字陣列麥克風拾音技術(shù)可以抑制和消除通話時的回聲和環(huán)境噪聲，數(shù)字接口方便同數(shù)字系統(tǒng)的連接。

模擬麥克風和數(shù)字麥克風
麥克風結(jié)構(gòu)：ECM模擬麥克風通常是由振膜，背極板，結(jié)型場效應(yīng)管(JFET)和屏蔽外殼組成。振膜是涂有金屬的薄膜。背極板由駐極體材料做成，經(jīng)過高壓極化以后帶有電荷，兩者形成平板電容。當聲音引起振膜振動，使兩者距離產(chǎn)生變化，從而引起電壓的變化，完成聲電轉(zhuǎn)換。利用結(jié)型場效應(yīng)管用來阻抗變換和放大信號，有些高靈敏度麥克風采用運放來提高麥克風靈敏度（見圖1a）。ECM數(shù)字麥克風通常是由振膜，背極板，數(shù)字麥克風芯片和屏蔽外殼組成，數(shù)字麥克風芯片主要由緩沖級，放大級，低通濾波器，抗模數(shù)轉(zhuǎn)換組成。緩沖級完成阻抗變換，放大級放大信號，低通濾波濾除高頻信號，防止模數(shù)轉(zhuǎn)換時產(chǎn)生混疊，模數(shù)轉(zhuǎn)換將放大的模擬信號轉(zhuǎn)換成脈沖密度調(diào)制(PDM)信號，通常采用過采樣的1位Δ-Σ模數(shù)轉(zhuǎn)換（見圖1b）。MEMS模擬麥克風主要由MEMS傳感器，充電泵，緩沖放大器，屏蔽外殼組成。參照圖1c, MEMS傳感器由半導體工藝制成的振膜，背極板和支架構(gòu)成，通過充電泵給背極板加上適當?shù)臉O化偏壓。緩沖放大器完成阻抗變換，放大信號。MEMS數(shù)字麥克風主要由MEMS傳感器，充電泵，數(shù)字麥克風芯片和屏蔽外殼組成，參照圖1d。為了提高麥克風抗干擾能力，麥克風內(nèi)部電源和地之間都增加了小的濾波電容，通常是10pF和33pF并聯(lián)。

圖1a ECM模擬麥克風

圖1b ECM數(shù)字麥克風

圖1c MEMS模擬麥克風

圖1d MEMS數(shù)字麥克風

麥克風偏置電路：通過手機中麥克風電路的典型應(yīng)用，比較一下ECM模擬麥克風，MEMS模擬麥克風和數(shù)字麥克風的差異。圖2a為ECM模擬麥克風的偏置電路。為了減小干擾，手機中的麥克風電路采用差分輸出。麥克風電源經(jīng)過R5電阻C9電容濾波以后，通過R6供給麥克風內(nèi)部的場效應(yīng)管，由R6、R9差分組成差分輸出電路。C15和R6、R9以及麥克風的輸出阻抗組成低通濾波器，用來濾除超過語音頻段的高頻信號，防止后級電路模數(shù)裝換時產(chǎn)生混疊。C13、C17隔離直流偏置，R7、R8用來防止電容對芯片輸入端的放電沖擊。其余的33pF電容用來濾除射頻干擾。麥克風輸出到基帶芯片的模擬輸入端采用差分布線，減少噪聲和射頻干擾（見圖2b）。MEMS麥克風的偏置電路。麥克風電源經(jīng)過R1電阻C2電容濾波以后，供給MEMS麥克風內(nèi)置的緩沖放大器和充電泵電路。MEMS拾取的聲音信號轉(zhuǎn)換成模擬電信號，經(jīng)過緩沖放大后輸出，經(jīng)過C5、R2、C6組成的π型濾波器濾波，偽差分電路布線到基帶芯片。圖2c為數(shù)字麥克風的偏置電路。麥克風電源經(jīng)過簡單濾波以后供給麥克風。聲音轉(zhuǎn)換成模擬電信號經(jīng)過內(nèi)部緩沖放大，在時鐘信號（SCL）的驅(qū)動，下最后模數(shù)轉(zhuǎn)換成1位的PDM音頻數(shù)據(jù),從數(shù)據(jù)引腳（DATA）輸出。

圖2a ECM模擬麥克風電路

圖2b MEMS模擬麥克風電路

圖2c ECM/MEMES數(shù)字麥克風電路

各種類型麥克風比較：表1歸結(jié)出ECM模擬麥克風，ECM數(shù)字麥克風，MEMS模擬麥克風和MEMS數(shù)字麥克風的性能指標和各自的優(yōu)缺點。