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            納米技術(shù)在微電子連接方面的應(yīng)用

            作者: 時間:2011-12-14 來源:網(wǎng)絡(luò) 收藏

            這種納米粒子的功能在其有機外殼熱分解去除后便展示出來。圖5顯示了銀納米粒子的熱分析結(jié)果(DTA/TG曲線)。從DTA曲線來看,在發(fā)熱反應(yīng)開始的同時,粒子質(zhì)量迅速減少,可以認為這時的有機外殼已被分解與去除。而且,當提升加熱速度時,分解溫度則向高溫側(cè)移動。圖6顯示了分解結(jié)束溫度與加熱速度的關(guān)系,從圖可知,即使把加熱速度加快到20℃/m,分解也在 265℃左右結(jié)束,在300℃以下出現(xiàn)納米粒子的功能。也就是說,在300℃以下可利用該納米粒子進行

            圖5 銀納米粒子熱分析結(jié)果(DTA/TC曲線)



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            圖6 有機外殼分解結(jié)束溫度與加熱溫度的關(guān)系

            2 有機物—銀復合納米粒子的特點

            日本大阪大學銅質(zhì)圓板型試驗片作銀納米粒子試驗,分別測出了銀微米粒子(平均粒徑為100nm)和銀納米粒子的脆斷強度(見圖7)。其中,該試驗是在300℃、保溫300min、加壓5Mpa的條件下進行的。如圖7所示,納米粒子連接與微粒子連接相比,顯示出了很高的脆斷強度。

            圖7 脆斷強度結(jié)果

            用電鏡分別對各自的連接斷面觀察,發(fā)現(xiàn)用銀微米粒子的場合,其與銅的連接面有空隙狀缺陷。銀微米粒子的觸點破壞發(fā)生在銀/銅界面,所得的5Mpa左右的觸點強度被認為是兩者簧片的機械連接結(jié)果。而銀納米粒子的觸點破壞面被認為是銀伸長而塑性變形的痕跡,其在界面附近的銀層中會斷裂(圖8)。由此可見,用銀納米粒子連接比用銀微粒子連接的界面強度更高。

            圖8 銀納米粒子燒結(jié)層/Cu界面附近的TEM圖像



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