引言
高量程微機(jī)械壓阻式加速度傳感器在沖擊測試、軍用引信中運(yùn)用相當(dāng)廣泛?？煽啃匝芯渴俏㈦娮訖C(jī)械系統(tǒng) MEMS產(chǎn)業(yè)化的關(guān)鍵，對于微加速度傳感器更是如此。由于應(yīng)用環(huán)境的特殊性，高量程微加速度傳感器必須具有極高的抗過載能力。目前，國內(nèi)研究MEMS器件抗過載能力主要停留在計算機(jī)模擬和實(shí)驗(yàn)測試。考慮到測試實(shí)驗(yàn)無法充分測試傳感器在特殊環(huán)境下的性能，對該高量程加速度傳感器在侵徹環(huán)境中進(jìn)行試驗(yàn)驗(yàn)證，分別對混凝土靶及鋼靶進(jìn)行實(shí)彈侵徹，對比分析該傳感器在真實(shí)沖擊環(huán)境下的數(shù)據(jù)和抗過載能力，從而獲取可靠數(shù)據(jù)，為深入研究彈體侵徹過載特性提供依據(jù)。

2 微加速度傳感器結(jié)構(gòu)及封裝
圖1是高量程加速度傳感器模型截面圖，150 000 g為量程，一階固有頻率達(dá)300 kHz。梁寬和質(zhì)量塊一致，壓阻對稱放置于4梁根部，抑制了非對稱性結(jié)構(gòu)引起的橫向加速度的影響。整體為“田”字形結(jié)構(gòu)，單晶硅材料。中心的活動質(zhì)量塊由十字梁懸浮連接到邊框上。邊框作為錨區(qū)鍵合在玻璃基底上。

3 實(shí)彈侵徹測試實(shí)驗(yàn)
實(shí)驗(yàn)用921A型鋼靶，其靶板厚26 mm，炮彈出膛速度為420 m／s。鋼筋混凝土靶體積為(2×2×1．5)m3，出膛速度為895 m／s。每發(fā)炮彈內(nèi)安裝有2個傳感器，一個為988傳感器，其靈敏度為0．341 pc／g；一個為帶測試傳感器。系統(tǒng)采樣率為200 kHz。利用130 mm口徑滑膛炮發(fā)射烯卵形頭部彈體，分別對鋼靶和鋼筋混凝土靶進(jìn)行垂直侵徹，如圖2所示。