對(duì)于懸臂梁結(jié)構(gòu)的硅微型加速度傳感器，在其它結(jié)構(gòu)尺寸相同的情況下，梁的厚度對(duì)加速度傳感器的靈敏度影響最大，基本上是反比的關(guān)系。這是由于在同樣的載荷下，梁厚與應(yīng)力大小成反比，而應(yīng)力大小直接影響靈敏度，應(yīng)力越大靈敏度越高。由于加工出芯片梁的厚度比設(shè)計(jì)值偏差較大，故其測(cè)試靈敏度比設(shè)計(jì)值小，如表3所示。

在質(zhì)量塊尺寸一定的情況下，梁的長(zhǎng)度與靈敏度成正比，梁的寬度與靈敏度成反比。在梁的尺寸一定情況下，質(zhì)量塊的質(zhì)量與靈敏度成正比。

6 結(jié)束語(yǔ)
對(duì)制作的加速度傳感器樣品，在馬希特?fù)翦N上進(jìn)行了大量地沖擊標(biāo)定測(cè)試，測(cè)試結(jié)果表明：設(shè)計(jì)和加工制作的加速度計(jì)樣品在進(jìn)行加速度的沖擊時(shí)，有較好的信號(hào)輸出，單臂梁結(jié)構(gòu)的加速度計(jì)的靈敏度為1 μV／gn；雙臂梁結(jié)構(gòu)的加速度計(jì)的靈敏度為1．6μV／gn，與理論設(shè)計(jì)值基本吻合。