2. 3 　模型識別

基于上述思想，若已知輸入、輸出信號， 可通過曲線擬合及線性回歸法得出RC。對式(3) 進行擬合，在擬合過程中， 加入一定的白噪聲。若R = 1000 Ω，電容C = 50 p F ，則擬合曲線如圖4 所示。

擬合參數(shù)最大時為5. 037 ×10 - 8 ，最大相對誤差為0. 78 %。當溫度變化時，金屬鉑電阻值發(fā)生變化，在不同的溫度下擬合的電容值和溫度的關系如表1 所示(加入1 %的白噪聲) 。

從表1 可見，擬合的電容誤差小于1 %。由此可見，在不同的時刻測得UO ( t) ，通過曲線擬合得出參數(shù)RC。再給電路加小信號直流電源，測出R 值，即求得C ，通過C 值則可知被測環(huán)境的壓力。

圖5為350 ℃時，不同的壓力所對應的電容的理論值和實驗值，從實驗數(shù)據(jù)(表2) 可得，在測壓的過程中，利用模型識別的方法，誤差較小，其測壓誤差小于2 %。

3 　結束語

基于模型識別技術的高溫微型壓力傳感器電路簡單、工藝成本較低、體積小、可批量生產(chǎn)、準確度高。

該傳感器避免了電阻式高溫壓力傳感器的自補償電路在高溫環(huán)境下工作時熱靈敏度漂移引起的誤差，也避免了其它電容式高溫壓力傳感器非線性補償電路在高溫環(huán)境下工作。該傳感器適合在各種高溫環(huán)境下測量氣體或液體的壓力。