初步的測試結(jié)果表明集成傳感器具有良好的性能。壓力傳感器的滿量程輸出為150 mV，壓力測量范圍為0～500 kPa，靈敏度為0.3 mV/kPa。溫度傳感器的靈敏度為1.24 mV/℃，非線性為1.6%。壓力溫度集成傳感器完全適用于胎壓監(jiān)控系統(tǒng)的要求。
6 結(jié) 語
在分析了輪胎壓力監(jiān)摔系統(tǒng)的原理及各種不同解決方案的基礎上，設計了一種新型的輪胎壓力監(jiān)控系統(tǒng)解決方案。根據(jù)TPMS的要求，設計制作了一種壓力溫度集成傳感器，該器件工藝簡單，成品率高，與標準IC工藝兼容。
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