從表格1中可得所有圓孔半徑的標(biāo)準(zhǔn)偏差都在0．5μm左右，并且與Leitz PMM866所得結(jié)果的偏差從-0．3μm到0，都滿足小于1μm的需求。同時(shí)，所有結(jié)果的峰值偏移都在±1μm以內(nèi)，同樣也滿足最初的精度需求。綜上所述，該系統(tǒng)重復(fù)測(cè)量結(jié)果精度都穩(wěn)定在±1μm以內(nèi)，滿足細(xì)微電火花機(jī)床對(duì)工件檢驗(yàn)精度的需求。

3 與其他細(xì)微精加工中常用測(cè)量機(jī)器的對(duì)比
在微米精加工過(guò)程中不同的檢測(cè)機(jī)器被使用，為了與這些常用機(jī)械進(jìn)行對(duì)比，設(shè)計(jì)了一系列的實(shí)驗(yàn)來(lái)對(duì)比它們的精度。
3．1 手動(dòng)式測(cè)量方法
3．1．1 投影儀
這一類測(cè)量機(jī)器利用光學(xué)衍射原理在被測(cè)工件背面投射背景光，并使用高倍放大鏡頭進(jìn)行接收放大后投射在觀測(cè)屏上。由于此種測(cè)量方式受人為影響較大，為了確定人為因素對(duì)最后結(jié)果精確度影響的程度，我們?cè)O(shè)計(jì)了如下實(shí)驗(yàn)：一個(gè)寬10 mm的標(biāo)準(zhǔn)工件被用作待測(cè)工件，在投影儀的觀測(cè)屏上可以看到一個(gè)XY方向的基準(zhǔn)線，測(cè)量過(guò)程中我們需要用人眼判斷出Y軸方向上基準(zhǔn)線和工件邊緣的最佳吻合處。當(dāng)確定位置后按下與投影儀相連用來(lái)讀取位置儀器上的按鈕，定義此處為(X，Y)=(0，0)點(diǎn)，然后轉(zhuǎn)動(dòng)放著工件的托盤(pán)沿著X軸移動(dòng)到此工件的另一邊緣，用同樣的方法記錄下另一邊緣處同一X方向上的另一點(diǎn)。此時(shí)可從儀器上讀取兩點(diǎn)間的距離，即為此標(biāo)準(zhǔn)工件兩邊緣間的間距。同樣的實(shí)驗(yàn)被獨(dú)立重復(fù)50次。