作為壓力控制、壓力監(jiān)控和判斷真空吸附的效果器件，電子壓力傳感器首先應(yīng)用在血壓計(jì)上，之后經(jīng)過(guò)不斷的改革發(fā)展，在過(guò)程控制、轎車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)控制部分、家用電器、裝配機(jī)器人等領(lǐng)域也獲得了廣泛的應(yīng)用(壓力傳感器應(yīng)用)。

PS壓力傳感器是一種利用半導(dǎo)體膜片結(jié)構(gòu)制成的電子式壓力傳感器，它可將空氣壓力這一物理量變換成電信號(hào), 并能夠高精度、線性地檢測(cè)出壓力的變化。圖1為PS壓力傳感器的截面結(jié)構(gòu)圖

PS壓力傳感器的截面結(jié)構(gòu)圖

PS壓力傳感器工作原理是：在壓力傳感器半導(dǎo)體硅片上有一層擴(kuò)散電阻體，如果對(duì)這一電阻體施加壓力，由于壓電電阻效應(yīng)，其電阻值將發(fā)生變化。受到應(yīng)變的部分，即膜片由于容易感壓而變薄，為了減緩來(lái)自傳感器底座應(yīng)力的影響，將壓力傳感器片安裝在玻璃基座上。圖2為壓力傳感器部分的結(jié)構(gòu)圖，

壓力傳感器部分的結(jié)構(gòu)圖

如圖2(b)所示，當(dāng)向空腔部分加上一定的壓力時(shí)，膜片受到一定程度的拉伸或收縮而產(chǎn)生形變。

壓力傳感器外圍電路的設(shè)計(jì)

圖3是PS壓力傳感器的外圍電路設(shè)計(jì)實(shí)例，圖中用恒流源來(lái)驅(qū)動(dòng)壓力傳感器。由于橋路失衡時(shí)的輸出電壓比較小，所以必須用運(yùn)放IC1b和IC1C來(lái)進(jìn)行放大。

PS壓力傳感器的外圍電路設(shè)計(jì)實(shí)例