上下二層是玻璃體，中間是硅片，其應(yīng)力硅薄膜上部有一真空腔，使之成為一個(gè)典型的絕壓壓力傳感器。為了便于TPMS接收器的識(shí)別，每個(gè)壓力傳感器都具有32位獨(dú)特的ID碼，它可產(chǎn)生4億個(gè)不重復(fù)的號(hào)碼。

壓力傳感器芯片制作工藝流程

壓力傳感器芯片制作工藝流程如下圖所示：

圖3 工藝流程示意圖

壓力傳感器由具有壓阻效應(yīng)的敏感元件構(gòu)成測(cè)量電橋，當(dāng)受外界壓力作用時(shí)，電橋失去平衡，產(chǎn)生輸出電壓。

總結(jié)

本文簡(jiǎn)單介紹了壓力傳感器芯片的分類(lèi)、制作工藝流程等知識(shí)，并以壓力傳感器芯片SCA2095為例分析了其原理，同時(shí)就對(duì)于MEMS硅壓阻式壓力傳感器芯片結(jié)構(gòu)的知識(shí)也做了相應(yīng)的概括。